[发明专利]会聚离子束装置

说明书

提供会聚离子束装置。在实际照射会聚离子束之前，至少能够掌握射束以怎样的朝向照射固定试样的试样台。会聚离子束装置具有：会聚离子束镜筒(20)，其用于对试样(200)照射会聚离子束(20A)；试样台(51)，其载置试样；以及试样载台，其载置试样台，至少能够沿水平方向和高度方向移动，其中，会聚离子束装置(100)还具有：存储部(6M)，其预先存储试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据，三维数据与试样载台的载台坐标相关联；显示部(7)；以及显示控制部(6A)，其根据试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据，使显示部显示使试样载台进行动作而使试样台移动到规定的位置时的虚拟的试样台(51v)和会聚离子束的照射轴线(20Av)的位置关系。

技术领域

本发明涉及进行试样的加工等的会聚离子束装置。

背景技术

以往，利用会聚离子束装置进行试样的加工和观察。

此外，开发了如下技术：存储会聚离子束镜筒和检测器的三维数据，在使试样移动到测定点时，根据试样的三维数据，模拟并判断这些设备是否会与试样发生干涉(专利文献1)。

专利文献1：日本特开2008-270072号公报

另外，在对半导体器件等微细构造物照射会聚离子束并进行加工时，蚀刻速率根据构造物的背光而不同，因此，有时由于幕效应而在试样中产生加工条纹。

因此，例如通过使载置了试样的试样载台在水平面上旋转或倾斜，并对试样的构造物倾斜地照射会聚离子束而抑制幕效应。但是，实际上在照射会聚离子束并进行加工的同时，每次都要观察是否存在幕效应，因此，有时会过度倾斜试样而在加工中产生不良情况，或者试样的倾斜较少而无法充分抑制幕效应等，很难进行恰当地抑制幕效应的加工。

发明内容

本发明正是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供如下的会聚离子束装置：在实际照射会聚离子束之前，至少能够掌握射束是以怎样的朝向照射到固定试样的试样台的。

为了实现上述目的，本发明的会聚离子束装置具有：会聚离子束镜筒，其用于对试样照射会聚离子束；试样台，其载置所述试样；以及试样载台，其载置所述试样台，至少能够沿水平方向和高度方向移动，其特征在于，所述会聚离子束装置还具有：存储部，其预先存储所述试样台和所述会聚离子束的照射轴线的三维数据，所述三维数据与所述试样载台的载台坐标相关联；显示部；以及显示控制部，其根据所述试样台和所述会聚离子束的照射轴线的三维数据，使所述显示部显示使所述试样载台进行动作而使所述试样台移动到规定的位置时的虚拟的所述试样台与虚拟的所述会聚离子束的照射轴线之间的位置关系。

根据该会聚离子束装置，显示了虚拟的试样台和会聚离子束的照射轴线的位置关系，因此，在实际照射会聚离子束之前，至少能够掌握射束以怎样的朝向找设置固定试样的试样台。其结果，例如能够判定由于试样的构造物的背光而因幕效应产生加工条纹的程度，例如能够掌握以何种程度倾斜试样才能够抑制幕效应而进行适当的加工。

此外，由于针对三维数据已知的试样台而显示出与会聚离子束的照射轴线之间的位置关系，因此，不用在每次测定时单独取得形状等不同的试样的三维数据，能够简便地显示会聚离子束相对于试样台的朝向，作业效率提高，试样台与试样之间的相对位置关系能够被大致掌握。

本发明的会聚离子束装置也可以还具有转换部，所述转换部根据所述试样载置于所述试样台后的姿态和载置位置，将预先输入的所述试样的三维数据转换为所述载台坐标，所述显示控制部根据通过所述转换部进行转换而得到的所述试样的三维数据，使所述显示部显示使试样载台进行动作而使所述试样移动到照射位置时的虚拟的所述试样、虚拟的所述试样台和虚拟的所述会聚离子束的照射轴线的位置关系。

根据该会聚离子束装置，除了虚拟的试样台，还重叠显示虚拟的试样的位置关系，因此，能够更加准确地掌握实际上射束是以怎样的朝向照射试样的。