[发明专利]会聚离子束装置

权利要求书

1.一种会聚离子束装置，其具有：

会聚离子束镜筒，其用于对试样照射会聚离子束；

试样台，其载置所述试样；以及

试样载台，其载置所述试样台，至少能够沿水平方向和高度方向移动，

其特征在于，所述会聚离子束装置还具有：

存储部，其预先存储所述试样台和所述会聚离子束的照射轴线的三维数据，所述三维数据与所述试样载台的载台坐标相关联；

显示部；以及

显示控制部，其根据所述试样台和所述会聚离子束的照射轴线的三维数据，使所述显示部显示使所述试样载台进行动作而使所述试样台移动到规定的位置时的虚拟的所述试样台与虚拟的所述会聚离子束的照射轴线之间的位置关系。

2.根据权利要求1所述的会聚离子束装置，其中，

所述会聚离子束装置还具有转换部，所述转换部根据所述试样放置于所述试样台后的姿态和放置位置，将预先输入的所述试样的三维数据转换为所述载台坐标，

所述显示控制部根据由所述转换部进行转换而得到的所述试样的三维数据，使所述显示部显示使试样载台进行动作而使所述试样移动到照射位置时的虚拟的所述试样、虚拟的所述试样台和虚拟的所述会聚离子束的照射轴线的位置关系。

3.根据权利要求2所述的会聚离子束装置，其中，

所述试样载台能够以与所述水平方向平行且与所述高度方向正交的倾斜轴线为中心倾斜，

所述会聚离子束装置还具有：

图像取得部，其取得所述试样载置于所述试样台后的平面图像；以及

三维数据生成部，其计算使所述试样载台移动到共心高度Zs的移动量，生成所述试样的三维数据，

所述转换部将所述三维数据生成部所生成的所述试样的三维数据转换为所述载台坐标。

4.根据权利要求2或3所述的会聚离子束装置，其中，

所述存储部存储对所述试样照射了所述会聚离子束时的蚀刻速率或沉积速率，

所述显示控制部根据使试样载台进行动作而使所述试样移动到照射位置时的虚拟的所述试样与虚拟的所述会聚离子束的照射轴线之间的位置关系，使所述显示部显示按照规定的蚀刻时间或沉积时间进行蚀刻或沉积后的虚拟的所述试样的轮廓。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的会聚离子束装置，其中，

所述会聚离子束装置还具有气体离子束镜筒或激光镜筒，所述气体离子束镜筒或激光镜筒的加速电压被设定得比所述会聚离子束镜筒的加速电压低，所述气体离子束镜筒或激光镜筒用于对所述试样照射气体离子束或激光，

所述存储部预先存储有所述气体离子束或激光的照射轴线的三维数据，所述三维数据与所述试样载台的载台坐标相关联，

所述显示控制部还根据所述气体离子束或激光的照射轴线的三维数据，使所述显示部显示使试样载台进行动作而使所述试样台移动到规定的位置时的虚拟的所述试样台、虚拟的所述会聚离子束的照射轴线和虚拟的所述气体离子束或激光的照射轴线的位置关系。

6.根据权利要求5所述的会聚离子束装置，其中，

所述显示控制部根据由所述转换部进行转换而得到的所述试样的三维数据，使所述显示部显示使试样载台进行动作而使所述试样移动到照射位置时的虚拟的所述试样、虚拟的所述试样台、虚拟的所述会聚离子束的照射轴线和虚拟的所述气体离子束或所述激光的照射轴线的位置关系。

7.根据权利要求2～6中的任意一项所述的会聚离子束装置，其中，

所述显示控制部使所述显示部重叠显示所述会聚离子束对所述试样照射的照射范围。