[发明专利]一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

步骤一：在晶圆表面的正面涂覆一层硼掺杂源，在涂源表面磁控溅射一层厚度为200nm的二氧化硅薄膜，以防止掺杂源在脉冲激光照射时挥发，采用飞秒激光光丝在晶圆表面上实现高效快速图案化高浓度掺杂，制备出高浓度注入的压敏电阻，其中激光的运动轨迹通过扫描振镜进行控制；

步骤二：采用飞秒直写系统对高浓度注入的压敏电阻进行退火处理，退火处理后杂质被电激活并且分布均匀，退火过程在氩气的保护下进行；

步骤三：在晶圆正面及反面均沉积一层Si₃N₄，相比于氧化层会起到更好的钝化作用，通过光刻、ICP刻蚀得到接触孔；

步骤四：通过光刻形成金属电极层的掩膜，然后磁控溅射一层Al薄膜，除去光刻胶完成金属层剥离后形成导线和焊盘，完成铝与压敏电阻欧姆接触；

步骤五：将正面进行保护，对背面沉积的Si₃N₄层进行光刻刻蚀，进而得到硅杯窗口，经过化学腐蚀得到厚度为25-50μm的应变膜；

步骤六：将制备好的器件与硼硅玻璃进行键合，中间形成真空密封腔，制备出硅杯型压力传感器；

其中，步骤一中所述的飞秒激光光丝是激光束通过焦距为100cm的石英透镜在空气中聚焦所形成的，形成的光丝的长度为3cm，光丝的直径为100μm，采用的激光中心波长为800nm，重复频率为500Hz，脉冲宽度为35fs，单脉冲能量为0-3.5mJ，采用氩气作为保护气体。

2.如权利要求1所述的一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤一中所述的晶圆厚度为300μm，所述硼掺杂源为三氧化二硼与无水乙醇按照质量体积比为10g:100ml混合而成，所述二氧化硅薄膜的厚度为200nm，所述高浓度掺杂的浓度为10²⁰/cm²以上。

3.如权利要求1所述的一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤二中所述飞秒激光直写系统采用激光中心波长为800nm，脉冲宽度为100fs，重复频率为2.5kHz，采用氩气作为保护气体。

4.如权利要求1所述的一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器的制备方法，其特征在于，步骤四中所述的Al薄膜的厚度为100nm-120nm。

5.一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器，其特征在于，由权利要求1-4任一一项所述的方法制备得到。