[发明专利]一种无镉基量子点发光二极管制备方法在审
| 申请号: | 202010944660.0 | 申请日: | 2020-09-10 |
| 公开(公告)号: | CN114171687A | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
| 发明(设计)人: | 李磊;孟琪;金炜;司俊杰;黄杰;刘祖刚 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
| 主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/54;H01L51/56 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 无镉基 量子 发光二极管 制备 方法 | ||
1.一种无镉基量子点发光二极管制备方法,所述的无镉基量子点发光二极管包括:阳极、空穴注入层、空穴传输层、量子点发光层、电子传输层、阴极;所述的阳极为氧化铟锡(ITO)导电玻璃,所述的空穴注入层为聚(3,4-亚乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT:PSS),所述的空穴传输层为聚[双(4-苯基)(4-丁基苯基)胺](Poly-TPD),所述的量子点发光层为InP,所述的电子传输层为ZnMgO,所述的阴极材料为Ag,所述的制备方法步骤包括:
第一步:ITO导电玻璃清洗,按顺序分别将ITO导电玻璃浸入特种溶剂油D90和去离子水、去离子水、无水乙醇、丙酮、异丙醇,超声清洗10分钟;
第二步:清洗好的ITO导电玻璃用氮气枪除去表面液体,正面朝上放置于旋涂机卡槽中,取PEDOT:PSS逐滴滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为4500rpm,旋涂时间为45s;旋涂完成后将滴有PEDOT:PSS的ITO导电玻璃置于恒温加热台,150℃条件下退火30min;
第三步:将退火完成的涂有PEDOT:PSS的ITO导电玻璃正面朝上放置于旋涂机卡槽中,用移液枪移取30μL Poly-TPD滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为2000rpm,旋涂时间为45s,旋涂完成后将滴有Poly-TPD的ITO导电玻璃置于恒温加热台,120℃条件下退火20min;
第四步:将第三步获得的涂有PEDOT:PSS、Poly-TPD的ITO导电玻璃放置于旋涂机卡槽中,用移液枪移取20μL InP量子点溶液滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为2000rpm,旋涂时间为45s;
第五步:将第四步获得的涂有PEDOT:PSS、Poly-TPD、InP量子点的ITO导电玻璃放置于旋涂机卡槽中,用移液枪移取30μL ZnMgO溶液滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为2000rpm,旋涂时间为45s;
第六步:将第五步获得的涂有PEDOT:PSS、Poly-TPD、InP量子点、ZnMgO的ITO导电玻璃放置真空蒸发台,以Ag颗粒作为金属蒸发源蒸镀于ZnMgO层表面,形成阴极Ag层;完成蒸镀后,对器件进行封装获得无镉基量子点发光二极管;
其特征在于,所述的ZnMgO材料是ZnO材料中掺入摩尔比为12.5%的Mg;所述的第四步中InP量子点旋涂完所获得的InP量子点薄膜的厚度为12nm;所述的第五步中ZnMgO旋涂完所获得的的ZnMgO薄膜的厚度为60-80nm;所述的第六步中蒸镀阴极Ag层厚度为100nm。
2.根据权利要求1所述的一种无镉基量子点发光二极管制备方法,其特征在于,所述的PEDOT:PSS浓度为1.3%-1.7%。
3.根据权利要求1所述的一种无镉基量子点发光二极管制备方法,其特征在于,所述的Poly-TPD浓度为8mg/ml。
4.根据权利要求1所述的一种无镉基量子点发光二极管制备方法,其特征在于,所述的第六步中,对器件进行封装所使用的封装胶水为3492紫外线固化胶。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





