[发明专利]一种无镉基量子点发光二极管制备方法在审

专利信息
申请号: 202010944660.0 申请日: 2020-09-10
公开(公告)号: CN114171687A 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 李磊;孟琪;金炜;司俊杰;黄杰;刘祖刚 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L51/54;H01L51/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 无镉基 量子 发光二极管 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种无镉基量子点发光二极管制备方法,所述的无镉基量子点发光二极管包括:阳极、空穴注入层、空穴传输层、量子点发光层、电子传输层、阴极;所述的阳极为氧化铟锡(ITO)导电玻璃,所述的空穴注入层为聚(3,4-亚乙二氧基噻吩)-聚(苯乙烯磺酸)(PEDOT:PSS),所述的空穴传输层为聚[双(4-苯基)(4-丁基苯基)胺](Poly-TPD),所述的量子点发光层为InP,所述的电子传输层为ZnMgO,所述的阴极材料为Ag,所述的制备方法步骤包括:

第一步:ITO导电玻璃清洗,按顺序分别将ITO导电玻璃浸入特种溶剂油D90和去离子水、去离子水、无水乙醇、丙酮、异丙醇,超声清洗10分钟;

第二步:清洗好的ITO导电玻璃用氮气枪除去表面液体,正面朝上放置于旋涂机卡槽中,取PEDOT:PSS逐滴滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为4500rpm,旋涂时间为45s;旋涂完成后将滴有PEDOT:PSS的ITO导电玻璃置于恒温加热台,150℃条件下退火30min;

第三步:将退火完成的涂有PEDOT:PSS的ITO导电玻璃正面朝上放置于旋涂机卡槽中,用移液枪移取30μL Poly-TPD滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为2000rpm,旋涂时间为45s,旋涂完成后将滴有Poly-TPD的ITO导电玻璃置于恒温加热台,120℃条件下退火20min;

第四步:将第三步获得的涂有PEDOT:PSS、Poly-TPD的ITO导电玻璃放置于旋涂机卡槽中,用移液枪移取20μL InP量子点溶液滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为2000rpm,旋涂时间为45s;

第五步:将第四步获得的涂有PEDOT:PSS、Poly-TPD、InP量子点的ITO导电玻璃放置于旋涂机卡槽中,用移液枪移取30μL ZnMgO溶液滴在ITO导电玻璃上并进行旋涂,旋涂转速为2000rpm,旋涂时间为45s;

第六步:将第五步获得的涂有PEDOT:PSS、Poly-TPD、InP量子点、ZnMgO的ITO导电玻璃放置真空蒸发台,以Ag颗粒作为金属蒸发源蒸镀于ZnMgO层表面,形成阴极Ag层;完成蒸镀后,对器件进行封装获得无镉基量子点发光二极管;

其特征在于,所述的ZnMgO材料是ZnO材料中掺入摩尔比为12.5%的Mg;所述的第四步中InP量子点旋涂完所获得的InP量子点薄膜的厚度为12nm;所述的第五步中ZnMgO旋涂完所获得的的ZnMgO薄膜的厚度为60-80nm;所述的第六步中蒸镀阴极Ag层厚度为100nm。

2.根据权利要求1所述的一种无镉基量子点发光二极管制备方法,其特征在于,所述的PEDOT:PSS浓度为1.3%-1.7%。

3.根据权利要求1所述的一种无镉基量子点发光二极管制备方法,其特征在于,所述的Poly-TPD浓度为8mg/ml。

4.根据权利要求1所述的一种无镉基量子点发光二极管制备方法,其特征在于,所述的第六步中,对器件进行封装所使用的封装胶水为3492紫外线固化胶。

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