[发明专利]固态金属有机源的集中供给系统

权利要求书

1.一种固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，包括：储罐、固态金属有机源、加热系统、载气供应源、压缩机、第一传输管道、第二传输管道、第三传输管道、第四传输管道、第五传输管道、多个阀门，以及单个或多个金属有机化学气相沉积或原子层沉积制程设备；

所述储罐用以将预先混合供有机化学气相沉积制程的混合气体储存至其中，并与所述第一传输管道及所述第二传输管道连接，所述第一传输管道末端分支成多个所述第三传输管道，多个所述第三传输管道用于连接多个所述金属有机化学气相沉积或原子层沉积制程设备，所述第二传输管道连接所述压缩机；

所述固态金属有机源置于所述加热系统中，通过加热使所述固态金属有机源汽化，所述加热系统通过所述第四传输管道与所述压缩机连接；

所述载气供应源通过所述第五传输管道与所述加热系统连接，其可提供惰性气体至所述加热系统中，使所述惰性气体作为所述固态金属有机源的载体形成所述混合气体；

所述压缩机将所述混合气体压缩后通过所述第二传输管道送至所述储罐中进行储存；

多个所述阀门设置于所述第一传输管道、所述第二传输管道及所述第五传输管道上，其用于打开或关闭相应所述气体，当不需使用时，将所述第一传输管道、所述第二传输管道和所述第五传输管道上任意一个或几个阀门关闭，使所述混合气体储存于所述储罐以备用。

2.根据权利要求1所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述第一传输管道末端分支形成的多个所述第三传输管道为并联分支。

3.根据权利要求1或2所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述储罐的容积为44公升高压气体钢瓶或200公升～1000公升气体储罐。

4.根据权利要求1或2所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述储罐还包括：压力计；

所述压力计用于测量所述储罐中的压力，以判断所述混合气体总量。

5.根据权利要求1或2所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述固态金属有机源的集中供给系统包括连接各所述阀门的自动控制模组；

所述自动控制模组用于自动打开或关闭各个阀门，以控制各气体的流出。

6.根据权利要求5所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述压力计还包括：显示面板控制单元；

所述显示面板控制单元用于显示所述压力计的数值，并与所述加热系统、所述载气供应源、所述压缩机以及所述自动控制模组连动以控制其运作。

7.根据权利要求1所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述固态金属有机源中：

用于金属有机化学气相沉积制程设备的所述固态金属有机化合物包括以下任一者：三甲基铟TMIn、二茂镁Cp₂Mg、四溴化碳CBr4；

用于原子层沉积制程设备的所述固态金属有机化合物包括以下任一者：五(四二甲氨基)钽PDMAT、第三丁基乙炔六羰基二钴CCTBA、四(乙基甲基氨)铪(锆)TEMAHf(Zr)。

8.根据权利要求1所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述固态金属有机源包括稀土。

9.根据权利要求1所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述固态金属有机源包括以下任一者：钨、钼、钌、锶、钛、锆、铪、钴、镍、钪。

10.根据权利要求1所述的固态金属有机源的集中供给系统，其特征在于，所述惰性气体包括以下任一者：氢气、氮气、氩气。