[发明专利]一种开放式晶圆盒适配器

权利要求书

1.一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于装载台上，所述装载台上设有三个定位柱(8)和夹锁(9)，其特征在于，包括：

主体(1)，所述主体(1)上设有定位件，所述定位件用于与三个所述定位柱(8)和所述夹锁(9)可拆卸连接；

限位块(5)，设有多个，多个所述限位块(5)选择性地可拆卸安装于所述主体(1)上以定位不同的开放式晶圆盒。

2.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述主体(1)包括内主体(11)和外主体(12)，所述内主体(11)为Y形板，所述外主体(12)开设有Y形的安装孔(121)，所述内主体(11)置于所述安装孔(121)内，且与所述外主体(12)连接。

3.根据权利要求2所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述定位件包括开设于所述内主体(11)上的卡位凹槽(4)和三个贯穿所述内主体(11)或所述外主体(12)的限位槽(2)，且三个所述限位槽(2)的延伸方向互不相同，所述定位柱(8)能穿设所述限位槽(2)；所述卡位凹槽(4)的一侧与所述安装孔(121)连通，所述夹锁(9)能穿过所述安装孔(121)抵接于所述卡位凹槽(4)的槽底。

4.根据权利要求3所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，三个所述限位槽(2)分别设置于所述内主体(11)的三个端部。

5.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述主体(1)上设有两个压块组件(7)，且分别位于所述装载台的两个感应器(6)上方，所述晶圆盒放置于所述主体(1)上能使所述压块组件(7)抵压于所述感应器(6)上。

6.根据权利要求5所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述压块组件(7)包括压块主体(71)，所述主体(1)上设有容纳槽(77)，所述压块主体(71)活动设置于所述容纳槽(77)内，且所述压块主体(71)与所述容纳槽(77)的槽底弹性连接，所述容纳槽(77)的槽底开设有压块主体孔(72)，压块连接件(78)的一端活动穿设所述压块主体孔(72)与所述压块主体(71)连接，所述压块连接件(78)的另一端用于抵压所述感应器(6)。

7.根据权利要求6所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述压块主体(71)和所述容纳槽(77)的槽底对应开设有多个弹性件槽(73)，所述压块主体(71)与所述容纳槽(77)的槽底通过多个弹性件连接，所述弹性件的一端与所述主体(1)上的所述弹性件槽(73)的槽底连接，另一端与所述压块主体(71)的所述弹性件槽(73)的槽底连接。

8.根据权利要求7所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述弹性件为弹簧(74)。

9.根据权利要求6所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述压块主体(71)上还设置有多个压块定位件(76)，所述容纳槽(77)的槽底开设有多个与所述压块定位件(76)对应的压块定位件孔(75)，所述压块定位件(76)活动安装于所述压块定位件孔(75)内。

10.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述限位块(5)包括U型限位块和长条形限位块。