[发明专利]一种含硅烷偶联剂的感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种含硅烷偶联剂的感光性树脂组合物，其特征是：含有以下组分：

组分（a）：以下述通式（1）表示的结构作为主要成分的聚合物和/或以下述通式（2）表示的结构作为主要成分的聚合物；

组分（b）：醌二叠氮化合物；

组分（c）：硅烷偶联剂，所述硅烷偶联剂包括下述通式（3）表示的结构的硅烷偶联剂、3-（三乙氧硅基硫代）丙基三甲氧基硅烷和γ-脲基丙基三乙氧基硅烷；

组分（d）：溶剂；

；

所述通式（1）中，R₁和R₂分别独立地表示碳原子数2以上的2价~8价的有机基团；R₃和R₄分别独立地表示氢或者碳原子数1~20的1价有机基团；n表示5~1000的范围；l及m分别独立地表示0~2的整数，p及q分别独立地表示0~2的整数，其中p+q0；

；

所述通式（2）中，R₅表示4~8价的有机基团；R₆表示2~6价的有机基团；R₇和R₈表示酚羟基、磺酸基或者硫醇基，R₇和R₈分别可以为单一的基团，也可以混合存在不同的基团；t表示3~1000的范围；r及s分别独立的表示0~4的整数；

；

所述通式（3）中， R₉为氢、C₁-C₁₀的烷基或C₁-C₁₀的烷氧基；R₁₀为氢、C₁-C₁₀烷基或C₁-C₁₀的烷氧基；R₁₁为氢、C₁-C₁₀的烷基或C₁-C₁₀的烷氧基；R₁₂为氢或C₁-C₁₀的烷基；R₁₃为氢或C₁-C₁₀的烷基。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征是：通式（3）中，R₉、R₁₀、R₁₁分别独立的为C₁-C₁₀的烷基或C₁-C₁₀的烷氧基。

3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其特征是：通式（3）中，R₉、R₁₀、R₁₁分别独立的为C₁-C₄的烷基或C₁-C₄的烷氧基。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其特征是：通式（3）中，R₉、R₁₀、R₁₁分别独立的为甲氧基或乙氧基。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征是：通式（3）中， R₁₂、R₁₃分别独立的为氢。

6.根据权利要求1、2、3、4或5所述的感光性树脂组合物，其特征是：通式（3）的硅烷偶联剂是通过式（4）所示的衣糠酸酐类化合物和式（5）所示的端基为氨基的硅烷化合物进行酰胺化反应、然后进行亚胺化反应的方式来制备；

；

式（4）和式（5）中，R₉、R₁₀、R₁₁、R₁₂、R₁₃的定义与上述权利要求1-5中任一项所述的定义一致。

7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，其特征是：制备通式（3）的硅烷偶联剂时，酰胺化反应以及亚胺化反应是在非质子极性溶剂中进行。