[发明专利]用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统

说明书

本发明公开了用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，包括旋转环、旋转头组件、90度直角转接器、旋转驱动器组件，所述旋转头组件设置有多组，且旋转头组件安装在旋转环上，所述90度直角转接器的一端连接旋转环，所述90度直角转接器的另一端连接旋转驱动器组件，所述旋转驱动器组件通过90度直角转接器改变动力方向，本发明通过本地控制器及远程上位机可实现同心圆三维快速电动步进扫描，设计结构紧凑，密封性强，体积小，移动精度高，同时便于根据实际情况测量要求跟换相对应探头以满足测量要求。

技术领域

本发明涉及扫描系统技术领域，具体为用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统。

背景技术

目前前沿物理中磁约束聚变等离子体装置如磁镜，同轴枪，等离子体源的科研投入力度越来越大，科研精度要求也越来越高，诸多装置对多尺度多维度参数扫描需求也越来越高。在现有的测量结构为单头，测量单一无法满足多头同平面位置测量要求，严重影响测量数据，为此，我们提出用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统。

发明内容

本发明的目的在于提供用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，通过本地控制器及远程上位机可实现同心圆三维快速电动步进扫描，设计结构紧凑，密封性强，体积小，移动精度高，同时便于根据实际情况测量要求跟换相对应探头以满足测量要求。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，包括旋转环、旋转头组件、90度直角转接器、旋转驱动器组件，所述旋转头组件设置有多组，且旋转头组件安装在旋转环上，所述90度直角转接器的一端连接旋转环，所述90度直角转接器的另一端连接旋转驱动器组件，所述旋转驱动器组件通过90度直角转接器改变动力方向。

优选的，所述旋转环包括外壳固定座、外壳固定环盖、主齿轮环、传动齿轮轴、轴承、外壳固定连接柱、主齿轮轴承固定柱、万向联轴器和电缆支架。

优选的，所述外壳固定环盖罩设在外壳固定座上，且外壳固定座和外壳固定环盖之间形成环形腔，所述主齿轮环和电缆支架位于环形腔内，且安装在外壳固定座上，所述电缆支架位于主齿轮环的内环圈内；

所述外壳固定环盖通过外壳固定连接柱安装在外壳固定座上，且外壳固定连接柱设有多组，所述轴承安装在传动齿轮轴的顶端，且传动齿轮轴的底端安装在外壳固定座上，所述传动齿轮轴上套设有齿轮环，所述传动齿轮轴上的齿轮环与主齿轮环啮合，所述万向联轴器安装在传动齿轮轴上，且万向联轴器凸出设置在外壳固定座表面。

优选的，所述旋转头组件包括旋转头固定座、旋转头支架、旋转头端板、旋转头、旋转头对接螺母、旋转头直齿条、旋转头固定轴、旋转头丝杆、旋转头丝杆螺母、旋转头连接齿轮和旋转头轴承。

优选的，所述旋转头固定座通过螺栓安装在旋转头支架上，所述旋转头直齿条位于旋转头固定座的开口通槽内，所述旋转头直齿条套接在旋转头丝杆螺母的外壁，所述旋转头丝杆螺母螺纹连接在旋转头丝杆上，所述旋转头丝杆的尾端连接旋转头连接齿轮后插接在旋转头固定座上，所述旋转头丝杆位于旋转头丝杆螺母的上下两端位置均安装有旋转头轴承，所述旋转头端板通过螺栓固定在旋转头固定座的顶端，所述旋转头通过两组旋转头固定轴活动安装在旋转头固定座上，且旋转头底座上的齿痕与旋转头直齿条啮合；

所述旋转头的顶端安装有旋转头对接螺母，所述旋转头固定轴与旋转头固定座上的安装孔之间也设置有旋转头轴承，所述旋转头端板安装在旋转头固定座后，旋转头丝杆的端部插入旋转头端板的通孔中。

优选的，所述90度直角转接器包括转接器外壳、转接器盖板、转接器锥齿轮、转接器联轴杆A、转接器联轴杆B、转接器轴承、转接器卡簧、转接器连接块A、转接器加长杆、转接器联轴器、转接器连接块B、转接器固定筒。