[发明专利]用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统

权利要求书

1.用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，其特征在于，包括旋转环(100)、旋转头组件(200)、90度直角转接器(300)、旋转驱动器组件(400)，所述旋转头组件(200)设置有多组，且旋转头组件(200)安装在旋转环(100)上，所述90度直角转接器(300)的一端连接旋转环(100)，所述90度直角转接器(300)的另一端连接旋转驱动器组件(400)，所述旋转驱动器组件(400)通过90度直角转接器(300)改变动力方向。

2.根据权利要求1所述的用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，其特征在于：所述旋转环(100)包括外壳固定座(1)、外壳固定环盖(2)、主齿轮环(3)、传动齿轮轴(4)、轴承(5)、外壳固定连接柱(6)、主齿轮轴承固定柱(7)、万向联轴器(8)和电缆支架(9)。

3.根据权利要求2所述的用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，其特征在于：所述外壳固定环盖(2)罩设在外壳固定座(1)上，且外壳固定座(1)和外壳固定环盖(2)之间形成环形腔，所述主齿轮环(3)和电缆支架(9)位于环形腔内，且安装在外壳固定座(1)上，所述电缆支架(9)位于主齿轮环(3)的内环圈内；

所述外壳固定环盖(2)通过外壳固定连接柱(6)安装在外壳固定座(1)上，且外壳固定连接柱(6)设有多组，所述轴承(5)安装在传动齿轮轴(4)的顶端，且传动齿轮轴(4)的底端安装在外壳固定座(1)上，所述传动齿轮轴(4)上套设有齿轮环，所述传动齿轮轴(4)上的齿轮环与主齿轮环(3)啮合，所述万向联轴器(8)安装在传动齿轮轴(4)上，且万向联轴器(8)凸出设置在外壳固定座(1)表面。

4.根据权利要求1所述的用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，其特征在于：所述旋转头组件(200)包括旋转头固定座(10)、旋转头支架(11)、旋转头端板(12)、旋转头(13)、旋转头对接螺母(14)、旋转头直齿条(15)、旋转头固定轴(16)、旋转头丝杆(17)、旋转头丝杆螺母(18)、旋转头连接齿轮(19)和旋转头轴承(20)。

5.根据权利要求4所述的用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，其特征在于：所述旋转头固定座(10)通过螺栓安装在旋转头支架(11)上，所述旋转头直齿条(15)位于旋转头固定座(10)的开口通槽内，所述旋转头直齿条(15)套接在旋转头丝杆螺母(18)的外壁，所述旋转头丝杆螺母(18)螺纹连接在旋转头丝杆(17)上，所述旋转头丝杆(17)的尾端连接旋转头连接齿轮(19)后插接在旋转头固定座(10)上，所述旋转头丝杆(17)位于旋转头丝杆螺母(18)的上下两端位置均安装有旋转头轴承(20)，所述旋转头端板(12)通过螺栓固定在旋转头固定座(10)的顶端，所述旋转头(13)通过两组旋转头固定轴(16)活动安装在旋转头固定座(10)上，且旋转头(13)底座上的齿痕与旋转头直齿条(15)啮合；

所述旋转头(13)的顶端安装有旋转头对接螺母(14)，所述旋转头固定轴(16)与旋转头固定座(10)上的安装孔之间也设置有旋转头轴承(20)，所述旋转头端板(12)安装在旋转头固定座(10)后，旋转头丝杆(17)的端部插入旋转头端板(12)的通孔中。

6.根据权利要求1所述的用于高真空科学实验装置的同心圆三维电动步进扫描系统，其特征在于：所述90度直角转接器(300)包括转接器外壳(21)、转接器盖板(22)、转接器锥齿轮(23)、转接器联轴杆A(24)、转接器联轴杆B(25)、转接器轴承(26)、转接器卡簧(27)、转接器连接块A(28)、转接器加长杆(29)、转接器联轴器(30)、转接器连接块B(31)、转接器固定筒(32)。