[发明专利]一种用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法

权利要求书

1.一种用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，其特征在于，包括步骤：每间隔25-35天，取工作槽内槽液总体积的8-12％，通过膜过滤系统过滤得到清液和浓液，将清液中加入适量抑制剂和整平剂作为新的工作液补充至工作槽，浓液排出；

其中，所述膜过滤系统用于过滤分离分子量500以上的物质。

2.根据权利要求1所述的用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，其特征在于，所述抑制剂的加入量为过滤清液质量的0.01‰-1‰；所述整平剂的加入量为过滤清液质量的0.01‰-1‰。

3.根据权利要求1所述的用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，其特征在于，所述膜过滤系统采用有机膜或无机膜。

4.根据权利要求1或3所述的用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，其特征在于，所述膜过滤系统采用陶瓷膜，所述陶瓷膜设有多个，各陶瓷膜相互并联布置。

5.根据权利要求1所述的用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，其特征在于，具体包括以下步骤：每间隔30天，取工作槽内槽液总体积的10％，通过陶瓷膜过滤系统过滤得到清液和浓液，将清液中加入适量抑制剂和整平剂作为新的工作液补充至工作槽，浓液排出。

6.根据权利要求1或5所述的用于脉冲镀铜工艺的工作液补充方法，其特征在于，过滤得到清液占过滤槽液总质量的98.5-99.5％，余量为浓液。