[发明专利]准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置

说明书

本发明涉及准分子激光器领域，具体涉及一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置。该方法及装置首先对准分子激光器参数进行初始化，并对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确；启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，包括参数采集线程和参数监控线程；参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，参数监控线程负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在特定工作范围之内；若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出，为后续的研发提供数据支持，同时保证操作人员安全。

技术领域

本发明涉及准分子激光器领域，具体而言，涉及一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置。

背景技术

激光器的出光原理为一些物质(如惰性气体)利用高压使得与其他原子结合成一个不稳定的分子。当该受激准分子从激发态跃迁回基态时，通过受激辐射和谐振放大作用就会有激光发出。

准分子激光器作为光刻机光源，最常见的气体物质为氟化氩、氟化氪等，这些气体对人体都具有危害性，再者激光器在曝光的时候，由于能量的产生，也会导致腔内气体温度升高，会影响光源的质量。

为了保证准分子激光器在出现一些非正常的状态，如温度过高、气体泄漏等情况能够及时的发现，需要有一个实时的监控系统对激光器的参数进行记录和监测以保证操作人员和设备的安全。

发明内容

本发明实施例提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置，以至少保证准分子激光器出现一些非正常状态能够被及时处理。

根据本发明的一实施例，提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法，包括以下步骤：

对准分子激光器参数在特定工作范围的特定值进行初始化；

对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确；

启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，包括参数采集线程和参数监控线程；参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，参数监控线程负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在特定工作范围之内；

若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出。

进一步地，该方法还包括：

在运行过程中发生错误时，参数监控线程负责查询是否有匹配的错误码，如果有匹配的错误码，记录该错误同时发出相应的错误警报；如果没有匹配的错误码，则在错误记录的同时发出最高级别的报警，并控制准分子激光器回到待机状态。

进一步地，在本监控模式下，将报警线程和参数采集线程的优先级设定高于其他任务，确保错误发生时，第一时间报警。

进一步地，对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确包括：

若配置表以及错误码表中任一表格检查失败，则初始化失败，需检查配置表以及错误码表是否存在以及表格正确性，若不存在或表格不正确，则返回重新设置配置表以及错误码表。

进一步地，报警分为四个级别：正常状态：没有错误发生；警告状态：准分子激光器参数即将超过设定值限制；一般错误状态：激光器参数超过设定值限制；严重错误状态：硬件报错发生，准分子激光器被强制进入待机状态。

进一步地，准分子激光器的参数包括：环境温度、水流量，腔体温度、气体压力、水流量。

根据本发明的另一实施例，提供了一种准分子激光器环境监测和报警的控制装置，包括：

参数初始化单元，用于对准分子激光器参数在特定工作范围的特定值进行初始化；