[发明专利]一种浮动式芯片侦测治具在审
申请号: | 202010602110.0 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN111816588A | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 荣国青;门蒙;张健星 | 申请(专利权)人: | 苏州辉垦电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 王利斌 |
地址: | 215134 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 浮动 芯片 侦测 | ||
1.一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:包括感应器调节组件(1)、感应器运动组件(2)、感应器固定组件(3),所述感应器调节组件(1)设置于感应器运动组件(2)上方,所述感应器运动组件(2)固定于感应器固定组件(3);
所述感应器调节组件(1)包含感应器(11)、感应器安装支架(14)、支架滑块(15),所述感应器(11)固定于感应器安装支架(14)上,所述感应器安装支架(14)连接有调节杆(12),所述感应器安装支架(14)固定在支架滑块(15)上;
所述感应器运动组件(2)包含运动母板(21)、感应器安装支架轨道(25)、底板连接滑块(26),所述感应器安装支架轨道(25)和支架滑块(15)滑动连接并固定于运动母板(21)上,所述运动母板(21)固定于底板连接滑块(26)上,所述运动母板(21)的侧方设有拉环固定栓(22),所述运动母板(21)的下方设有压轮轴(23),所述压轮轴(23)上远离运动母板(21)端设有压轮(24);
所述感应器固定组件(3)包含底板(31),所述底板(31)上方设有感应器运动组件桥接轨道(32),其和底板连接滑块(26)滑动连接,所述底板(31)上固定有拉簧固定螺栓(33)。
2.根据权利要求1所述的一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:所述调节杆(12)上套设有压簧(13)。
3.根据权利要求1所述的一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:所述运动母板(21)上设有垂直于运动母板(21)的调节杆固定块(211),所述调节杆(12)穿设于调节杆固定块(211)上。
4.根据权利要求1所述的一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:所述运动母板(21)上开设有透光窗口(212)。
5.根据权利要求1所述的一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:所述压轮(24)为可绕压轮轴(23)转动的圆形结构,所述压轮轴(23)和压轮(24)的配合组件不少于两组。
6.根据权利要求1所述的一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:所述拉簧固定螺栓(33)上固定有拉簧(34),所述拉簧(34)和拉环固定栓(22)连接。
7.根据权利要求1所述的一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:所述调节杆(12)上设有螺纹,其和感应器安装支架(14)螺连。
8.根据权利要求1所述的一种浮动式芯片侦测治具,其特征在于:所述侦测治具为一组对射机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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