[发明专利]键合夹持装置在审
| 申请号: | 202010575019.4 | 申请日: | 2020-06-22 |
| 公开(公告)号: | CN111725128A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
| 发明(设计)人: | 陈大勇;陈友龙;杨洪富;刘艳军 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67;H01L21/336 |
| 代理公司: | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人: | 张祥军 |
| 地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 夹持 装置 | ||
本发明提供了一种用于MOS管键合的键合夹持装置,包括底座、压板、托盘、驱动组件,其中底座上设有滑道,所述托盘上设有零件放置面和定位槽,托盘设于滑道上,所述压板上开有窗口,压板位于底座上方并与底座滑动连接,所述驱动组件设置在底座上并与压板接触。本发明可以将多个塑封体同时定位,不仅保持了成品率高的优点,而且效率明显有所提高,适用于对于不同规格的零件。
技术领域
本发明属于MOS管键合辅助设备领域,具体涉及一种键合夹持装置。
背景技术
在MOS管键合过程中,如TO-247封装,起初通过手工夹持产品到键合设备上进行键合,存在效率低、精度差的问题。为提高效率和精度,公开号为CN 210139330U的中国实用新型专利公开了一种键合夹持装置,该装置包括支撑座、夹持组件和驱动组件,支撑座上设有零件放置面和定位槽口A,使用时,将零件放置在零件放置面上由定位槽口A定位,然后启动驱动组件,带动夹持组件将零件夹紧,启动键合设备进行键合。该装置提高了效率和成品率,但由于定位槽口A设于支撑座上,如需键合其他规格的零件,则需要整体替换装置规格,因而适应性存在不足。
发明内容
本发明所解决的技术问题为:提供一种夹持精度、效率高、且能适应不同零件规格的键合夹持装置,进一步提高MOS管键合的效率和精度。
本发明通过以下技术方案得以实现。
本发明提供的键合夹持装置,包括底座、压板、托盘、驱动组件,其中底座上设有滑道,所述托盘上设有零件放置面和定位槽,托盘设于滑道上,所述压板上开有窗口,压板位于底座上方并与底座滑动连接,所述驱动组件设置在底座上并与压板接触。
通过零件放置面和定位槽,可以将多个塑封体同时定位,定位好后,由压板对定位好的一组塑封体压紧,从而进行键合,使一组产品各零件的距离一致,便于相互参照,不仅明显提高了效率,而且对定位精度也有所提高;托盘易于从底座上拆解,对于不同规格的零件,只需更换相应规格的托盘即可,使得装置对于不同规格的零件均适用。
凸轮结构易于操作,作为所述驱动组件的优选。所述驱动组件包括凸轮、凸轮操作杆,凸轮设置在底座内并与压板接触,凸轮操作杆设于底座侧面并与凸轮连接。通过旋转凸轮操作杆,操作压板的上下运动。
为了增加底板上下运行的平稳度,所述凸轮数量为两个,对称设置在底座内的两侧,两个凸轮由联动杆连接。
为了免于当压板运动至高位时需要人工掌握凸轮操作杆,以防止其下滑,提高效率,所述凸轮操作杆两边还设有限位杆。
进一步地,所述底座包括座体、侧板、封板,侧板连接在座体两侧,封板连接在侧板两头。
为防止冲击,损伤零件,本发明还包括缓冲板,缓冲板位于压板下方并与压板连接;进一步地,所述缓冲板上设有槽口;再进一步地,所述槽口大小和排列方式与定位槽相同。通过槽口观察塑封体定位对准情况,并进行键合,从而可将压板上的窗口适当开大,减轻压板重量。
所述缓冲板下部设有阶梯面A,压板上对应设有阶梯面B,阶梯面A与阶梯面B配合连接。这种连接方式易于缓冲板拆解,便于缓冲板与托盘一同更换。
本发明的有益效果在于:
综上所述,本发明提供的键合夹持装置,不仅保持了成品率高的优点,也明显提高了效率,而且对于不同规格的零件均适用。
附图说明
图1是本发明实施例一的结构示意图;
图2是本发明实施例一未安装托盘3的结构示意图;
图3是本发明实施例二的结构示意图;
图4是本发明实施例二未安装托盘3的结构示意图;
图5是压板2与驱动机构4的位置关系示意图;
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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