[发明专利]键合夹持装置在审
| 申请号: | 202010575019.4 | 申请日: | 2020-06-22 |
| 公开(公告)号: | CN111725128A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
| 发明(设计)人: | 陈大勇;陈友龙;杨洪富;刘艳军 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67;H01L21/336 |
| 代理公司: | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人: | 张祥军 |
| 地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 夹持 装置 | ||
1.一种键合夹持装置,其特征在于:包括底座(1)、压板(2)、托盘(3)、驱动组件(4),其中底座(1)上设有滑道(100),所述托盘(3)上设有零件放置面(301)和多个定位槽(302),托盘(3)设于滑道(100)上,所述压板(2)上开有窗口(200),压板(2)位于底座(1)上方并与底座(1)滑动连接,所述驱动组件(4)设置在底座(1)上并与压板(2)接触。
2.如权利要求1所述的键合夹持装置,其特征在于:所述驱动组件(4)包括凸轮(401)、凸轮操作杆(402),凸轮(401)设置在底座(1)内并与压板(2)接触,凸轮操作杆(402)设于底座(1)侧面并与凸轮(401)连接。
3.如权利要求2所述的键合夹持装置,其特征在于:所述凸轮(401)数量为两个,对称设置在底座(1)内的两侧,两个凸轮(401)由联动杆(403)连接。
4.如权利要求2所述的键合夹持装置,其特征在于:所述凸轮操作杆(402)两边还设有限位杆(104)。
5.如权利要求1所述的键合夹持装置,其特征在于:所述底座(1)包括座体(101)、侧板(102)、封板(103),侧板(102)连接在座体(101)两侧,封板(103)连接在侧板(102)两头。
6.如权利要求1所述的键合夹持装置,其特征在于:还包括缓冲板(5),缓冲板(5)位于压板(2)下并与压板(2)连接。
7.如权利要求6所述的键合夹持装置,其特征在于:所述缓冲板(5)上设有槽口(501)。
8.如权利要求7所述的键合夹持装置,其特征在于:所述槽口(501)大小和排列方式与定位槽(302)相同。
9.如权利要求7所述的键合夹持装置,其特征在于:所述缓冲板(5)下部设有阶梯面A(502),压板(2)上对应设有阶梯面B(201),阶梯面A(502)与阶梯面B(201)配合连接。
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