[发明专利]一种旋转运动式EBSD测试试样自动电解抛光装置和方法

权利要求书

1.一种旋转运动式EBSD测试试样电解抛光装置，其特征在于，所述装置包括可升降悬臂带定位锥支座、半球内底面电解抛光槽、人字形夹具、调位卡盘及电机；

所述可升降悬臂带定位锥支座为“匚”型结构，悬臂上方放置电机，并从上至下依次通过绝缘连接杆和金属连接杆与调位卡盘中心相连；调位卡盘下方安置人字形夹具，用于夹持电解抛光试样；下水平臂为带定位锥支座，用于放置半球内底面电解抛光槽；所述半球内底面电解抛光槽其内放置电解抛光液；

所述装置在所述半球内底面电解抛光槽正常工作时，电解抛光试样能沿水平面在保持旋转运动的状态下，同时保持恒电压、恒电流状态下电解抛光。

2.根据权利要求1所述的一种旋转运动式EBSD测试试样电解抛光装置，其特征在于，所述可升降悬臂带定位锥支座垂直臂上安装有一电刷支持杆，电刷支持杆一端为正极接线柱，另一端通过电刷连通金属连接杆；垂直臂下端安装升降旋钮，用于调节悬臂升降，控制试样浸入电解液的深度；下水平臂支座上设置定位锥，用以确保半球形内底面抛光槽的球心快速准确定位于调位卡盘中心的正下方。

3.根据权利要求1所述的一种旋转运动式EBSD测试试样电解抛光装置，其特征在于，所述半球内底面电解抛光槽，为导电性、耐腐蚀性良好，内底面形状为半球形、周边为垂直壁的金属杯；抛光槽上端设置负极接线柱，底部中心位置设置定位凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种旋转运动式EBSD测试试样电解抛光装置，其特征在于，所述调位卡盘为圆盘结构，卡盘直径方向上开有一槽，便于安装人字形夹具，亦可调节人字形夹具在槽上的安放位置，辅助调节试样旋转速度；所述调位卡盘的中心有安装孔，金属连接杆端部插入孔内，通过螺母将调位卡盘安装固定在金属连接杆上。

5.由权利要求1~4所述测试试样电解抛光装置实现的一种旋转运动式EBSD测试试样电解抛光方法，其特征在于，所述方法步骤如下：

（1）试样打磨：采用EBSD测试试样常规打磨方式进行打磨；

（2）试样安装：将试样待测面朝下，水平固定在人字形夹具末端，人字形夹具固定在调位卡盘的卡槽上；稳压直流电源阳极与正极接线柱相连接，经电刷支持杆、电刷、金属连接杆、调位卡盘、人字形夹具构成电路，使试样成为阳极末端；稳压直流电源阴极与负极接线柱连接，使金属电解抛光槽成为阴极末端；

（3）电解抛光液配置：将电解抛光液倒入半球内底面电解抛光槽，液面高度不高于半球形内底面与直壁内侧面的交界线；

（4）电解抛光：启动电机，试样在电机和调位卡盘的带动下做水平旋转圆周运动，旋转速率为0.5~15转/秒，开启稳压直流电源，调节升降旋钮，使试样待测面浸入电解抛光液的液面以下3~15毫米，进行电解抛光，抛光温度为0~35℃，电压为15~40V，电流为0.2~1A，抛光时间为15~50s；

（5）试样后处理：旋转升降旋钮，使电解抛光完毕的试样脱离电解抛光液，同时关闭稳压直流电源，停止电机，将试样放入酒精中清洗干净，冷风吹干，待测面朝上放置在真空干燥皿中保存。