[发明专利]测量装置及其位移传感器

说明书

本申请涉及检测测量领域，公开了测量装置及其位移传感器，该位移传感器包括：基础件，包括沿纵向方向延伸的基础部以及从该基础部的第一端沿高度方向延伸的延伸部；弹性变形体，通过连接端连接于所述延伸部并与所述基础件间隔相邻地沿所述纵向方向延伸，安装有接触头，该接触头的朝向设计为不在所述纵向方向上，在所述接触头与待测零部件的测量点相抵触时，所述弹性变形体能够围绕所述连接端而相对于所述基础件通过弹性变形而进行摆动；和位移感测机构，设置在所述基础件和弹性变形体之间，所述位移感测机构用于感测所述弹性变形体相对于所述基础件的位移变化量。根据本申请的技术方案，在满足高精度测量的同时提高了位移传感器的柔性适用性。

技术领域

本申请涉及测量领域，更具体地说，涉及一种位移传感器以及包括该位移传感器的测量装置。

背景技术

在检测测量领域，位移传感器是核心的关键部件。目前常用有LVDT位移传感器，LVDT位移传感器能够对最微小的运动作出响应并生成输出，因此具有较高的测量精度。随着业内对测量操作要求的不断提高，LVDT位移传感器也逐渐暴露出自身的缺陷。

一方面，由于LVDT位移传感器的铁心的运动不能超出线圈的线性范围，否则将产生非线性值，因此传统的LVDT位移传感器难以适用于量程较大的工况场合。另一方面，由于传统的LVDT位移传感器，例如笔试位移传感器由于自身形状尺寸问题，经常无法布局到测量空间狭小的内部空间（如狭小的内孔空间）的工作场合中，只能在纵向方向或长度方向进行测量作业，这严重限制了测量点的布局选择。

因此，如何在一定程度上解决上述缺陷，在满足高精度测量的同时提高位移传感器的柔性适用性成为本领域需要解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本申请提出了一种新型位移传感器，以在满足高精度测量的同时提高位移传感器在多种工况场合中的柔性适用性。

根据本申请，提出了一种位移传感器，该位移传感器包括：基础件，该基础件包括沿纵向方向延伸的基础部以及从该基础部的第一端沿高度方向延伸的延伸部；弹性变形体，该弹性变形体通过连接端连接于所述延伸部并与所述基础件间隔相邻地沿所述纵向方向延伸，所述弹性变形体上安装有接触头，该接触头的朝向设计为不在所述纵向方向上，在所述接触头与待测零部件的测量点相抵触时，所述弹性变形体能够围绕所述连接端而相对于所述基础件通过弹性变形而进行摆动；和位移感测机构，该位移感测机构设置在所述基础件和弹性变形体之间，所述位移感测机构用于感测所述弹性变形体相对于所述基础件的位移变化量。

优选地，所述基础件为沿纵向方向延伸的杆状件，所述弹性变形体为沿纵向方向延伸的杆状件，所述弹性变形体与所述基础件的基础部平行布置。

优选地，所述连接端朝向所述基础件的内侧或所述延伸部邻近所述连接端的内侧设置有沿横向方向贯通延伸的缺口；或者所述连接端背向所述基础件的表面设置有凹槽。

优选地，所述弹性变形体沿纵向方向的长度大于所述基础件沿纵向方向的长度，所述接触头的朝向垂直于所述纵向方向。

优选地，所述接触头的朝向为指向所述基础件或背向所述基础件的高度方向。

优选地，该位移传感器还包括如下特征中的至少一个：a）缓冲元件，该缓冲元件一端设置于所述基础件，另一端设置于所述弹性变形体，所述缓冲元件的弹性模量为可调节的；b）一对接近限位元件，一个接近限位元件设置于所述弹性变形体朝向所述基础件的表面上，另一个接近限位元件设置于所述基础件朝向所述弹性变形体的表面上并与所述一个接近限位元件彼此间隔地相对设置，用于限制所述弹性变形体接近所述基础件的摆动；c）远离限位元件，该远离限位元件从所述基础件和弹性变形体中的一者延伸穿过另一者且所述远离限位元件的末端设置有止挡部，用于限制所述弹性变形体远离所述基础件的摆动。