[发明专利]测量装置及其位移传感器

权利要求书

1.位移传感器，其特征在于，该位移传感器包括：

基础件(110)，该基础件(110)包括沿纵向方向(X)延伸的基础部(111)以及从该基础部(111)的第一端(112)沿高度方向(Z)延伸的延伸部(1111)；

弹性变形体(120)，该弹性变形体(120)通过连接端(1201)连接于所述延伸部(1111)并与所述基础件(110)间隔相邻地沿所述纵向方向(X)延伸，所述弹性变形体(120)上安装有接触头(130)，该接触头(130)的朝向设计为不在所述纵向方向(X)上，在所述接触头(130)与待测零部件的测量点相抵触时，所述弹性变形体(120)能够围绕所述连接端(1201)而相对于所述基础件(110)通过弹性变形而进行摆动；和

位移感测机构，该位移感测机构设置在所述基础件(110)和弹性变形体(120)之间，所述位移感测机构用于感测所述弹性变形体(120)相对于所述基础件(110)的位移变化量，

其中，所述连接端(1201)朝向所述基础件(110)的内侧或所述延伸部(1111)邻近所述连接端(1201)的内侧设置有沿横向方向(Y)贯通延伸的缺口(121)；和/或所述连接端(1201)背向所述基础件(110)的表面设置有凹槽(122)。

2.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述基础件(110)为沿纵向方向(X)延伸的杆状件，所述弹性变形体(120)为沿纵向方向(X)延伸的杆状件，所述弹性变形体(120)与所述基础件(110)的基础部(111)平行布置。

3.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述弹性变形体(120)沿纵向方向(X)的长度大于所述基础件(110)沿纵向方向(X)的长度，所述接触头(130)的朝向垂直于所述纵向方向(X)。

4.根据权利要求3所述的位移传感器，其特征在于，所述接触头(130)的朝向为指向所述基础件(110)或背向所述基础件(110)的高度方向(Z)。

5.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，该位移传感器还包括如下特征中的至少一个：

a)缓冲元件(123)，该缓冲元件(123)一端设置于所述基础件(110)，另一端设置于所述弹性变形体(120)，所述缓冲元件(123)的弹性模量为可调节的；

b)一对接近限位元件(124,125)，一个接近限位元件(124)设置于所述弹性变形体(120)朝向所述基础件(110)的表面上，另一个接近限位元件(125)设置于所述基础件(110)朝向所述弹性变形体(120)的表面上并与所述一个接近限位元件(124)彼此间隔地相对设置，用于限制所述弹性变形体(120)接近所述基础件(110)的摆动；

c)远离限位元件(126)，该远离限位元件从所述基础件(110)和弹性变形体(120)中的一者延伸穿过另一者且所述远离限位元件(126)的末端设置有止挡部(1261)，用于限制所述弹性变形体(120)远离所述基础件(110)的摆动。

6.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，所述位移感测机构包括：

移动件(140)，该移动件固定设置于所述弹性变形体(120)；

感测件(141)，该感测件(141)固定设置于所述基础件(110)并与所述移动件(140)彼此间隔地相互配合，用于感测所述移动件(140)相对于所述感测件(141)的位置变化量。

7.根据权利要求6所述的位移传感器，其特征在于，

所述移动件(140)为可拆卸地固定安装于所述弹性变形体(120)的移动杆，该移动杆从所述弹性变形体(120)向所述基础件(110)延伸；

所述感测件(141)为可拆卸地安装于所述基础件(110)的筒状件，所述移动杆的端部间隙地伸入所述筒状件内，所述筒状件背向所述移动杆的端部连接有信号线(142)。

8.根据权利要求7所述的位移传感器，其特征在于，所述基础件(110)和所述弹性变形体(120)之间设置有用于密封所述筒状件和移动杆之间的空间的柔性密封罩(143)。

9.测量装置，其特征在于，该测量装置设置有权利要求1-8中任意一项所述的位移传感器。