[发明专利]金属掩膜板

权利要求书

1.一种金属掩膜板，其特征在于，包括：掩膜板主体；

所述掩膜板主体包括至少一个子掩膜板，所述子掩膜板设置有多个蒸镀区，每个蒸镀区中均设置有多个蒸镀孔，所述多个蒸镀孔呈阵列方式排列；

所述子掩膜板具有相对设置的玻璃面和蒸镀面，每个蒸镀孔均包括一凹槽和一弧形槽，所述凹槽与所述弧形槽均沿着所述子掩膜板的厚度方向设置且相互连通，所述凹槽的一端与所述玻璃面齐平，任意相邻的蒸镀孔之间均设置有遮挡结构，所述遮挡结构的顶面与所述玻璃面齐平，所述遮挡结构的侧面分别构成所述凹槽与所述弧形槽的侧壁；

其中，所述遮挡结构的厚度方向与所述子掩膜板的厚度方向一致，且所述遮挡结构的厚度小于所述子掩膜板的厚度；

所述弧形槽的中心截面包括第一弧线和第三弧线，所述第三弧线与所述遮挡结构的侧面重合，所述第三弧线与所述第一弧线的弧度相同且圆心位置重合。

2.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述遮挡结构的截面为轴对称结构。

3.如权利要求2所述的金属掩膜板，其特征在于，所述遮挡结构的侧面沿其延伸方向收缩于一端点，所述端点位于所述轴对称结构的对称轴上，所述端点与所述玻璃面的距离是所述遮挡结构的厚度。

4.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述子掩膜板的厚度为30微米，所述遮挡结构的厚度在15微米到30微米之间。

5.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第一弧线的两端的连线与所述蒸镀面之间的夹角为蒸镀角，所述蒸镀角在40°到50°之间。

6.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，每个蒸镀区的外围均设置有一辅助区，所述辅助区的厚度与所述子掩膜板的厚度相近，所述辅助区中设置有多个辅助孔，所述多个辅助孔的孔深均小于所述多个蒸镀孔的孔深。

7.如权利要求6所述的金属掩膜板，其特征在于，所述辅助区的内侧边缘与其对应的蒸镀区的边缘重合，在所述子掩膜板的长度方向上，所述辅助区的内侧边缘与外侧边缘之间的距离在1.5mm以上。

8.如权利要求7所述的金属掩膜板，其特征在于，在所述子掩膜板的长度方向上，所述辅助区的内侧边缘与外侧边缘之间的距离在2mm以上。

9.如权利要求6所述的金属掩膜板，其特征在于，所述多个辅助孔的外形尺寸与所述多个蒸镀孔相同或相近，所述多个辅助孔的间距和排布方式均与所述多个蒸镀孔相同。

10.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，还包括：掩膜板框架、遮盖板和支撑板；

所述掩膜板主体设置于所述遮盖板与所述支撑板之间，且所述掩膜板主体、遮盖板与支撑板均与所述掩膜板框架固定连接；

所述支撑板包括多个平行设置的支撑条，每个蒸镀区在所述支撑板上的正投影位于相邻的支撑条之间；

所述遮盖板包括多个平行设置的遮盖条，每个蒸镀区在所述遮盖板上的正投影位于相邻的遮盖条之间。