[发明专利]一种特种工件镀膜方法

说明书

本发明实施例公开了一种特种工件镀膜方法，至少包括如下步骤：工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备的工艺室；在真空镀膜设备的工艺室对工件背面进行往复式反镀膜；在真空镀膜设备的静放室对完成背面镀膜的工件进行反静放处理；工件退出真空镀膜设备后，以正面状态再次送入真空镀膜设备的工艺室；在真空镀膜设备的工艺室对工件正面进行往复式正镀膜；在真空镀膜设备的静放室对完成正面镀膜的工件进行正静放处理；将工件输送至卸料工位进行工件正面卸料。本发明实施例，可使工件依次经过正面上料、反镀膜、反静放、正镀膜、正静放、正面卸料的工序，实现工件正面上料、正面卸料的镀膜全自动化处理，自动化程度高。

技术领域：

本发明涉及一种工件镀膜技术，尤其是一种在真空环境下对工件正反面全自动化镀膜的方法。

背景技术：

随着科技的进步，对材料的加工处理技术，尤其是表面镀膜技术的要求也越来越高，而国内外的常规镀膜方法，其自动化程度较低，在镀膜过程中存在温升高造成工件表面变形的缺陷。

发明内容：

为克服现有镀膜方法自动化程度较低的问题，本发明实施例提供了一种特种工件镀膜方法。

一种特种工件镀膜方法，至少包括如下步骤：

工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备的工艺室；

在真空镀膜设备的工艺室对工件背面进行往复式反镀膜；

在真空镀膜设备的静放室对完成背面镀膜的工件进行反静放处理；

工件退出真空镀膜设备后，以正面状态再次送入真空镀膜设备的工艺室；

在真空镀膜设备的工艺室对工件正面进行往复式正镀膜；

在真空镀膜设备的静放室对完成正面镀膜的工件进行正静放处理；

将工件输送至卸料工位进行工件正面卸料。

本发明实施例，可使工件依次经过正面上料、反镀膜、反静放、正镀膜、正静放、正面卸料的工序，实现工件正面上料、正面卸料的镀膜全自动化处理，自动化程度高。

附图说明：

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的特种工件镀膜设备及辅助设备的示例性布局示意图；

图2为本发明实施例的特种工件镀膜控制系统的示例性原理框图；

图3为本发明实施例的90°翻转装置的结构示意图；

图4为本发明实施例的180°翻转装置的结构示意图；

图5为本发明实施例的自动抓取移载装置在组合工位与180°翻转装置间来回移动的结构示意图；

图6为图5的左视局部示意图；

图7为本发明实施例的自动抓取移载装置的抓取平台与夹具的安装结构示意图；

图8为本发明实施例的四工位平移升降装置的结构示意图；

图9为本发明实施例的特种工件辅助镀膜的自动控制系统的示例性原理框图；

图10为本发明实施例的真空镀膜设备的结构示意图；

图11为本发明实施例的特种工件真空镀膜控制系统的示例性原理框图；

图12为本发明实施例的特种工件正面朝上并由第一基片架承载的结构爆炸图；