[发明专利]一种特种工件镀膜方法

权利要求书

1.一种特种工件镀膜方法，其特征在于，至少包括如下步骤：

工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备的工艺室；

在真空镀膜设备的工艺室对工件背面进行往复式反镀膜；

在真空镀膜设备的静放室对完成背面镀膜的工件进行反静放处理；

工件退出真空镀膜设备后，以正面状态再次送入真空镀膜设备的工艺室；

在真空镀膜设备的工艺室对工件正面进行往复式正镀膜；

在真空镀膜设备的静放室对完成正面镀膜的工件进行正静放处理；

将工件输送至卸料工位进行工件正面卸料。

2.如权利要求1所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，步骤“工件正面上料后，以反面状态送入真空镀膜设备的工艺室”包括：

工件正面上料后，对工件进行第一次180°翻面并传送至组合工位的第二基片架上；工件正面上料，是指工件以正面朝上的状态输送进来；

将工件和第二基片架从组合工位正向传送至自动控制生产线；

将工件和第二基片架从自动控制生产线正向输出至真空镀膜设备的工艺室。

3.如权利要求2所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，工件正面上料后、第一次180°翻面前，还包括：

以竖直状态对工件进行清洗；

对工件进行90°翻转，使清洗后工件从竖直状态翻转至水平的正面状态，该正面状态指工件正面朝上的状态；

将工件输送至缓冲传送工位。

4.如权利要求2或3所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，步骤“工件退出真空镀膜设备后，以正面状态再次送入真空镀膜设备的工艺室”包括：

将工件和第二基片架从真空镀膜设备反向输出至自动控制生产线；

将工件和第二基片架从自动控制生产线反向输出至组合工位；

对工件进行第二次180°翻面，并将第二基片架更换为第一基片架；

将工件和第一基片架从组合工位正向传送至自动控制生产线；

将工件和第一基片架从自动控制生产线正向输出至真空镀膜设备的工艺室。

5.如权利要求4所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，步骤“将工件输送至卸料工位进行工件正面卸料”包括：

将工件和第一基片架从真空镀膜设备反向输出至自动控制生产线；

自动控制生产线将工件和第一基片架输送至卸料工位进行工件正面卸料, 工件正面卸料，是指工件以正面朝上的状态进行卸料。

6.如权利要求3所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，对工件进行90°翻转的步骤包括：通过90°翻转装置将清洗后工件从竖直状态翻转至水平的正面状态。

7.如权利要求3所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，对工件进行第一次180°翻面的步骤包括：

将工件从缓冲传送工位抓取至180°翻转装置进行180°翻面；

将翻面后的工件从180°翻转装置抓取并传送至组合工位的基片架。

8.如权利要求4所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，对工件进行第二次180°翻面的步骤包括：

将工件从组合工位抓取至180°翻转装置进行180°翻面；

将翻面后的工件从180°翻转装置抓取并传送回组合工位的基片架。

9. 如权利要求8所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，

通过自动抓取移载装置将工件从组合工位抓取并传送至180°翻转装置进行180°翻面；以及

通过自动抓取移载装置将翻面后的工件从180°翻转装置抓取并传送回组合工位的基片架。

10. 如权利要求5所述的特种工件镀膜方法，其特征在于，

自动控制生产线通过四工位平移升降装置正向输出两个工件至真空镀膜设备，该两个工件为两个待静放工件、或两个待镀膜工件；以及

自动控制生产线通过四工位平移升降装置反向接收从真空镀膜设备反向输出的四个工件，该四个工件为两待静放工件和两待翻转工件、或者两待静放工件和两待卸载工件；以及

自动控制生产线通过四工位平移升降装置移动至卸料工位对两待卸载工件进行卸料。