[发明专利]一种防止调度死锁的物料分类调度方法

权利要求书

1.一种半导体设备中防止调度死锁的物料调度方法，其特征在于，包括：

步骤S1、确定待调度物料，其中，所述待调度物料分为工艺参与类物料和传输载体类物料，所述工艺参与类物料包括参与工艺的晶片和晶片传送盒，所述传输载体类物料包括不参与工艺的晶片传送盒；

步骤S2、如果所述待调度物料中存在放置在瓶颈资源位上的工艺参与类物料，则直接将所述待调度物料的信息发送给调度模块进行调度，输出调度序列；

其中，所述调度模块进行调度，输出调度序列包括：

步骤Z100、接收所述待调度物料的信息，生成可移动晶片列表和可移动晶片传送盒列表；

步骤Z200、判断所述待调度物料中是否有晶片传送盒正在进行装料或卸料，如果是，则转到步骤Z210，如果否，则转到步骤Z220；

步骤Z210，对正在进行装料或卸料的晶片传送盒，或者可移动的晶片，创建移动步骤，然后转到Z300；

步骤Z220，判断所述待调度物料中是否有正在进行传输的晶片传送盒，如果是，则基于预设的第一晶片传送盒优先级规则，针对优先级最高的晶片传送盒创建移动步骤，并转到步骤Z300；如果否，则根据晶片传送盒是将要进行装料还是将要进行卸料，基于预设的第二晶片传送盒优先级规则，针对工艺参与类物料中优先级最高的晶片传送盒创建移动步骤，并转到步骤Z300；

步骤Z300、更新所述可移动晶片列表或所述可移动晶片传送盒列表，判断是否所有所述待调度物料都到达目的地，如果否，返回步骤Z200，如果是，则输出所有移动步骤，形成所述调度序列。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤Z210包括：

步骤Z211、判断是否可以针对正在进行装料或卸料的晶片传送盒创建移动步骤，如果是，则针对正在进行装料或卸料的晶片传送盒创建移动步骤，并转到步骤Z212，如果否，则直接转到步骤Z212；

步骤Z212、判断是否已有移动步骤生成，如果是，则转到步骤Z300，如果否，则转到骤Z213；

步骤Z213、基于预设的晶片优先级规则，针对可移动晶片中优先级最高的晶片创建移动步骤，并转到步骤Z300。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述瓶颈资源位包括晶片装卸载位、晶片传送盒机械手。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一晶片传送盒优先级规则包括：根据各晶片传送盒所处的移动步骤及是否占用了所述瓶颈资源位为各晶片传送盒设定移动优先级，其中，占用了所述瓶颈资源位的晶片传送盒的优先级最高。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一晶片传送盒优先级规则包括：晶片机械手扫描完成且等待进行工艺的晶片传送盒或参与工艺的晶片传送盒的优先级为一级。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一晶片传送盒优先级规则还包括：在参与工艺的晶片传送盒占用了瓶颈资源位时，则晶片机械手扫描完成且等待进行工艺的晶片传送盒优先级为二级；

在晶片机械手扫描完成且等待进行工艺的晶片传送盒占用了瓶颈资源位时，则参与工艺的晶片传送盒优先级为二级。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，

等待晶片机械手扫描的晶片传送盒优先级为三级；

等待移入到储料器的晶片传送盒优先级为四级；

放在储料器上等待移入到晶片装卸载位进行晶片机械手扫描的晶片传送盒优先级为五级；

放在储料器上的等待移出到装载端口的晶片传送盒优先级为六级。