[发明专利]蚀刻螯合剂及其制备方法与蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 202010209957.2 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN111349938B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 吴豪旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 螯合剂 及其 制备 方法 组合 | ||
1.一种蚀刻螯合剂，其特征在于，所述蚀刻螯合剂包括纤维素交联聚合物以及多孔聚苯乙烯，所述纤维素交联聚合物与所述多孔聚苯乙烯均一地相互粘结，其中，所述纤维素交联聚合物由羧甲基纤维素与胺类化合物交联聚合而得。
2.如权利要求1所述的蚀刻螯合剂，其特征在于，所述胺类化合物中包括环氧基团。
3.如权利要求1所述的蚀刻螯合剂，其特征在于，所述纤维素交联聚合物与所述多孔聚苯乙烯的质量比为5:1至3:1。
4.一种蚀刻螯合剂的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
将羧甲基纤维素与胺类化合物混合，在第一温度下反应第一时间，得到纤维素交联聚合物；
将所述纤维素交联聚合物、多孔聚苯乙烯、表面活性剂以及分散剂加入去离子水中，搅拌混合均匀，再烘干去除所述去离子水，即制得所述蚀刻螯合剂。
5.如权利要求4所述的蚀刻螯合剂的制备方法，其特征在于，所述羧甲基纤维素与胺类化合物的摩尔比为5:1至1:1，以及所述纤维素交联聚合物与所述多孔聚苯乙烯的质量比为5:1至3:1。
6.如权利要求4所述的蚀刻螯合剂的制备方法，其特征在于，所述第一温度为80-150℃，所述第一时间为15-60分钟。
7.如权利要求4所述的蚀刻螯合剂的制备方法，其特征在于，所述表面活性剂为聚乙二醇，所述分散剂选自酰胺类化合物中的至少一者。
8.一种蚀刻液组合物，其特征在于，所述蚀刻液组合物包括：过氧化氢、有机酸、无机酸、蚀刻添加剂以及蚀刻螯合剂，其中，所述蚀刻螯合剂为包括纤维素交联聚合物与多孔聚苯乙烯的混合物，所述纤维素交联聚合物由羧甲基纤维素与胺类化合物交联聚合而得。
9.如权利要求8所述的蚀刻液组合物，其特征在于，在所述蚀刻液组合物中，所述蚀刻螯合剂的含量为0.5wt％-15wt％。
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