[发明专利]热真空干燥设备的定位销、基台和热真空干燥设备有效

专利信息
申请号: 202010119349.2 申请日: 2020-02-26
公开(公告)号: CN111306164B 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 郑清艺;陆忠 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;F16B19/02;F26B5/04
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 尹璐
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 真空 干燥设备 定位
【说明书】:

发明提供了热真空干燥设备的定位销、基台和热真空干燥设备。该定位销的形状为圆台形。该定位销结构简单、在使用过程中不易出现卡顿,从而在基板处于上升状态时,不易产生剪应力,且其与基板之间为点接触,对基板的摩擦阻力较小,进而使得其在使用过程中的安全系数高、基板不易发生碎裂。

技术领域

本发明涉及热真空干燥技术领域,具体地,涉及热真空干燥设备的定位销、基台和热真空干燥设备。

背景技术

在相关技术中,热真空干燥设备是用于将湿膜(例如湿聚酰亚胺膜等)进行烘干的设备。该热真空干燥设备的腔室中,具有用于放置待烘干湿膜的基台,在使用过程中,通常将待烘干薄膜放置于基台的基板上进行烘干(基板的材质通常为玻璃)。另外,基台中还具有用于定位所述基板的定位销。然而,目前的定位销在使用过程中的安全系数低,极易造成前面所述的基板碎裂。

因而,现有的热真空干燥设备的定位销的相关技术仍有待改进。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明的一个目的在于提出一种结构简单、在使用过程中不易出现卡顿、在基板处于上升状态时不易产生剪应力、与基板之间为点接触、对基板的摩擦阻力较小、可使得其在使用过程中的安全系数高或者基板不易发生碎裂的热真空干燥设备的定位销。

在本发明的一个方面,本发明提供了一种热真空干燥设备的定位销。根据本发明的实施例,所述定位销的形状为圆台形。该定位销结构简单、在使用过程中不易出现卡顿,从而在基板处于上升状态时,不易产生剪应力,且其与基板之间为点接触,对基板的摩擦阻力较小,进而使得其在使用过程中的安全系数高、基板不易发生碎裂。

根据本发明的实施例,所述定位销的上底面的中心在所述定位销的下底面的正投影与所述定位销的下底面的中心不重合。

根据本发明的实施例,所述定位销的母线与下底面之间的夹角为50°~80°。

根据本发明的实施例,所述定位销的形状为正圆台形,所述定位销的母线与下底面之间的夹角为60°。

根据本发明的实施例,仅具有一个贯穿所述定位销的上底面和所述定位销的下底面的螺孔。

根据本发明的实施例,所述螺孔在所述定位销的下底面上的正投影与所述定位销的下底面的中心不重合。

根据本发明的实施例,定义通过所述定位销的下底面的中心和所述螺孔在所述定位销的下底面上的正投影的线段为第一线段,且所述螺孔在所述定位销的下底面上的正投影将所述第一线段划分为第一段和第二段,所述第一段与所述第二段的长度之比为(1~3):(2~4)。

在本发明的另一个方面,本发明提供了一种热真空干燥设备的基台。根据本发明的实施例,该基台包括:底座;基板,所述基板位于所述底座的上方;多个升降销,多个所述升降销固定在所述底座上,且位于所述基板的下方,并用于支撑以及升降所述基板;和多个前面所述的定位销,多个所述定位销固定在所述底座上,且围绕所述基板的边沿设置,当所述基板处于下降状态时,多个所述定位销用于定位所述基板。该基台中的基板在处于上升状态时,不易产生剪应力,且定位销与基板之间为点接触,定位销对基板的摩擦阻力较小,进而使得该基台在使用过程中的安全系数高,其中的基板不易发生碎裂。

根据本发明的实施例,所述基板为矩形,所述定位销分别设置在所述基板边沿的四个拐角处,每个所述拐角处由相互垂直的第一边沿和第二边沿构造而成,每个所述拐角处设置有两个所述定位销,设置于每个所述拐角处的两个所述定位销分别位于所述第一边沿和所述第二边沿外侧。

根据本发明的实施例,当所述定位销与所述基板相接触时,通过所述定位销与所述基板的接触点的所述定位销的母线与所述定位销的下底面之间的夹角为60°。

根据本发明的实施例,所述基台还包括:螺杆,所述螺杆穿设于所述定位销上的螺孔中,所述定位销可围绕所述螺杆进行旋转。

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