[发明专利]一种节流气浮轴承以及基于该轴承的快轴伺服系统

权利要求书

1.一种节流气浮轴承，包括相互适配的轴承基座(1)，其特征在于，在轴承基座(1)上用于与气浮导轨(2)适配的内表面上设有多孔质节流层(3)；沿进气方向上，多孔质节流层(3)的气体流通阻力逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的一种节流气浮轴承，其特征在于，所述多孔质节流层(3)内孔径相同时，在沿进气方向上，多孔质节流层(3)的孔隙率逐渐降低。

3.根据权利要求1所述的一种节流气浮轴承，其特征在于，所述多孔质节流层(3)的孔隙率相同时，在沿进气方向上，多孔质节流层(3)的孔径逐渐降低。

4.根据权利要求1所述的一种节流气浮轴承，其特征在于，所述多孔质节流层(3)采用多孔质石墨层。

5.根据权利要求1所述的一种节流气浮轴承，其特征在于，使用过程中，所述多孔质节流层(3)与气浮导轨(2)之间具有5μm～30μm的间隙。

6.根据权利要求1所述的一种节流气浮轴承，其特征在于，所述轴承基座(1)上设有进气口(4)和气体通路(5)，所述气体通路(5)用于连通进气口(4)的输出端和多孔质节流层(3)；所述进气口(4)的输入端用于连通外部进气部件。

7.一种快轴伺服系统，包括气浮导轨(2)、电机(6)和刀架(7)，其特征在于，还包括权利要求1至5任一项所述的一种节流气浮轴承；所述节流气浮轴承套接在气浮导轨(2)上，且通过安装基座(8)定位；所述气浮导轨(2)的一端与电机(6)输出端连接、另一端安装刀架(7)。

8.根据权利要求7所述的一种快轴伺服系统，其特征在于，所述电机(6)采用音圈电机。

9.根据权利要求7所述的一种快轴伺服系统，其特征在于，所述电机(6)和气浮导轨(2)通过法兰(9)连接，且在电机(6)和法兰(9)之间设有绝热垫(10)。

10.根据权利要求7至9任一项所述的一种快轴伺服系统，其特征在于，还包括光栅尺，用于电机(6)的位移行程的测量与控制；所述光栅尺的标尺光栅(11)设置在气浮导轨(2)上，光栅尺的读数头(12)设置在安装基座(8)上。