[发明专利]一种碳化硅膜连续碳纤维束的制备方法在审

专利信息
申请号: 202010014240.2 申请日: 2020-01-07
公开(公告)号: CN111099900A 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 唐竹兴 申请(专利权)人: 山东理工大学
主分类号: C04B35/628 分类号: C04B35/628;C04B35/80
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 255086 山东省淄*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 连续 碳纤维 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种碳化硅膜连续碳纤维束的制备方法,其特征在于,连续碳纤维束是在碳化硅膜连续碳纤维束镀膜机中通入工艺气体在被加热的碳纤维束表面连续沉积碳化硅制成碳化硅膜连续碳纤维束,其中,碳化硅膜连续碳纤维束镀膜机是由碳纤维室(1)、气相沉积室(2)、混合气体室(3)、氮气室(4)、碳化硅膜连续碳纤维束载物平台(5)、碳纤维滚(6)、碳纤维束(7)、通道(8)、对棍石墨滚(9)、对棍石墨滚(10)、通道(11)、通道(12)、通道(13)、切刀(14)、气体入口(15)、排出口(16)、进口(17)、气相沉积室隔热屏(18)组成的;

对棍石墨滚(9)和对棍石墨滚(10)分别与电源的两极相接,通电后将碳纤维束加热到900~1100℃,对棍石墨滚(9)和对棍石墨滚(10)的转速协调一致;

工艺气体为三氯甲基硅烷气、氢气和氩气的混合气体,三氯甲基硅烷气:氢气:氩气的摩尔比为1:6~10:8~12,流量控制在100~1200ml/min;

碳化硅膜连续碳纤维束中碳化硅膜的厚度是由工艺气体的摩尔比、碳纤维束(7)的温度和对棍石墨滚(9)(10)的转速共同控制。

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