[发明专利]模块化和平铺式光学传感器在审
| 申请号： | 201980093360.1 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113454776A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | A·戈夫亚迪诺夫;B·E·达尔格伦;B·J·基夫 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | H01L25/00 | 分类号： | H01L25/00;G01N21/64 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李雪娜;陈岚 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模块化 平铺 光学 传感器 | ||
一种示例设备包括传感器模块阵列。传感器模块包括与平面靶标对齐定位的主体、耦合到主体以沿着源光学路径向平面靶标发射光的光源、以及耦合到主体的多个光传感器。每个光传感器要沿着传感器光学路径感测从平面靶标接收的不同波长的光。传感器光学路径与源光学路径不同。传感器模块阵列的主体关于平面靶标的纵向轴线以平面平铺图案布置。
背景技术
光学传感器经常用于监测其中光学特性的改变指示过程的改变的过程。光学传感器可以用于监测生物、化学或生化过程，其中向过程提供照明以触发传感器可检测的响应。
附图说明
图1是包括关于平面靶标的纵向轴线以平面平铺图案布置的传感器模块的示例设备的平面视图。
图2是包括关于包括反应腔室和加热器的平面靶标的纵向轴线以平面平铺图案布置的传感器模块的示例设备的平面视图。
图3是沿图2的示例传感器模块的剖面线A-A截取的横截面视图。
图4是包括以与平面靶标平行延伸的平面平铺图案布置的传感器模块的示例设备的平面视图。
图5是包括以交错的平面平铺图案布置的传感器模块的示例设备的平面视图。
图6是具有非对称光学布置的示例传感器模块的横截面视图。
图7是包括以交错的平面平铺图案布置的图6的非对称传感器模块的示例设备的平面视图。
图8是包括以交错的平面平铺图案布置的对称和非对称传感器模块的示例设备的平面视图。
图9是包括以平面平铺图案布置的三角形传感器模块的示例设备的平面视图。
图10是包括关于多个平面靶标以平面平铺图案布置的三角形传感器模块的示例设备的平面视图。
图11是包括以平面平铺图案布置的十字形传感器模块的示例设备的平面视图。
图12是包括关于多个平面靶标以平面平铺图案布置的十字形传感器模块的示例设备的平面视图。
图13是包括以平面平铺图案布置的六角形传感器模块的示例设备的平面视图。
图14是包括关于多个平面靶标以平面平铺图案布置的六角形传感器模块的示例设备的平面视图。
图15是包括以平面平铺图案布置的传感器模块的示例设备的平面视图，所述传感器模块包括多个对称光源。
图16是沿图15的示例传感器模块的剖面线E-E截取的横截面视图。
图17是具有照明光学器件以照明多个靶标的示例传感器模块的横截面视图。
图18是包括以平面平铺图案布置的传感器模块的示例设备的平面视图，所述传感器模块包括多个非对称光源。
图19是沿图18的示例传感器模块的剖面线E-E截取的横截面视图。
图20是包括以平面平铺图案布置的传感器模块的示例设备的平面视图，所述传感器模块包括多个非对称光源。
图21是包括荧光检测器的示例系统的透视图，所述荧光检测器包括以平面平铺图案布置的传感器模块阵列。
图22是制造光学感测设备的示例方法的流程图。
图23是使用不同传感器模块的资源制造光学感测设备的示例方法的流程图。
具体实施方式
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