[发明专利]高热额定值的氟弹性体组合物

说明书

本发明涉及：一种具有包括长支链的支链结构并且包含固化位点单体的氟弹性体及其可固化组合物，该可固化组合物能够提供具有在最高达约350℃的非常高的温度下保持出色的密封性能的能力的经固化零件；一种使该可固化组合物固化的方法；以及由该可固化组合物获得的经固化制品，这些经固化制品值得注意地可用作半导体行业中的密封零件。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年12月6日提交的在先欧洲申请号18210792.0的优先权，此申请的全部内容出于所有目的通过援引方式并入本文。

技术领域

本发明涉及：一种氟弹性体及其可固化组合物，该可固化组合物能够提供具有在最高达约350℃的非常高的温度下保持出色的密封性能的能力的经固化零件；一种使该可固化组合物固化的方法；以及由该可固化组合物获得的经固化制品，这些经固化制品值得注意地可用作半导体行业中的密封零件。

背景技术

氟弹性体，并且更确切地是基于四氟乙烯的氟弹性体，长期以来一直用于要求对若干苛刻条件(包括高温、化学侵蚀和暴露于等离子体)具有优异耐受性的各种应用中，包括特别是在半导体制造工业中。特别是在此领域中，提供具有常规地承受高达320℃-330℃以及最高达约350℃的温度的能力的经固化零件，并且还具有全氟橡胶的所有其他有利属性的可能性，是这一领域长期感觉到的需求。

发明内容

因此，本发明的第一目的是一种具有包括长支链的支链结构的(全)氟弹性体[氟弹性体(A)]，所述氟弹性体(A)包含：

-衍生自四氟乙烯(TFE)的重复单元；和

-相对于(全)氟弹性体(A)的重复单元的总摩尔数从0.1至10.0％摩尔的衍生自以下项中的至少一项的重复单元：

-具有至少一个腈基的含有固化位点的单体[单体(CS-N)]；

-具有至少一个碳基的含有固化位点的单体[单体(CS-C)]，该碳基选自由以下组成的组：羧基-COOH；羧酸盐基团-COOX_a，其中X_a是一价金属或铵基团；羧酰胺基团-CONH₂；以及烷氧基羧基-COO-R_H，其中R_H是(氟)(氢)碳基、优选C₁-C₃烷基；并且

具有使得G’_0.1/G’₁比率满足以下不等式的量的长支链：

1.75≤G’_0.1/G’₁≤2.25

其中：

G’_0.1和G’₁是储能模量的值，如根据ASTM D4440在140℃的温度下在分别为0.1rad/s和1rad/s的剪切速率下通过动态流变学测量的。

本申请人已经出人意料地发现，如上所述的具有所述独特的流变学行为(代表存在明确定义的浓度的长支链)的氟弹性体(A)可以被固化，以便提供具有显著改进的耐热性的经固化零件，以便确保在高达350℃的温度下维持所有有利的氟橡胶属性，以便适合在320℃以上继续使用。

具体实施方式

为了本发明的目的，术语“(全)氟弹性体”[氟弹性体(A)]旨在表示氟聚合物树脂，该氟聚合物树脂作为基础成分用于获得真正的弹性体，所述氟聚合物树脂包含大于10％wt、优选大于30％wt的衍生自至少一种包含至少一个氟原子的烯键式不饱和单体(以下称，(全)氟化单体)的重复单元以及，任选地衍生自至少一种不含氟原子的烯键式不饱和单体(以下称，氢化单体)的重复单元。

真正的弹性体被ASTM,Special Technical Bulletin[特殊技术通报],184号标准定义为能够在室温下被拉伸至它们固有长度的两倍，并且在拉力下保持它们5分钟之后，一旦它们被释放，则在同样的时间内恢复到它们初始长度10％以内的材料。