[发明专利]用于提供站对站的均匀性的方法和设备

权利要求书

1.一种用于处理衬底的设备，其包含：

第一气体源；

第一气体歧管，其连接至所述第一气体源；

第二气体歧管，其连接至所述第一气体源；

具有第一气体出口的第一处理站，其中所述第一气体出口连接至所述第一气体歧管；

具有第二气体出口的第二处理站，其中所述第二气体出口连接至所述第二气体歧管；

第一可变传导阀，其沿着所述第一气体歧管而介于所述第一气体源和所述第一气体出口之间；以及

第二可变传导阀，其沿着所述第二气体歧管而介于所述第一气体源和所述第二气体出口之间。

2.根据权利要求1所述的设备，其还包含：

第一混合歧管，其沿着所述第一气体歧管而介于所述第一可变传导阀和所述第一气体出口之间；

第二混合歧管，其沿着所述第二气体歧管而介于所述第二可变传导阀和所述第二气体出口之间；

第二气体源；

第三气体歧管，其连接在所述第二气体源和所述第一混合歧管之间；

第四气体歧管，其连接在所述第二气体源和所述第二混合歧管之间；

第三可变传导阀，其沿着所述第三气体歧管而连接在所述第二气体源和所述第一混合歧管之间；

第四可变传导阀，其沿着所述第四气体歧管而连接在所述第二气体源和所述第二混合歧管之间；

第五可变传导阀，其介于所述第一混合歧管和所述第一气体出口之间；以及

第六可变传导阀，其介于所述第二混合歧管和所述第二气体出口之间。

3.根据权利要求2所述的设备，其还包含：

第五气体歧管，其连接至所述第一气体源；

第六气体歧管，其连接至所述第一气体源；

第七气体歧管，其连接至所述第二气体源；

第八气体歧管，其连接至所述第二气体源；

具有第三气体出口的第三处理站；

具有第四气体出口的第四处理站；

第三混合歧管，其连接在所述第五气体歧管和第七气体歧管与所述第三气体出口之间；

第七可变传导阀，其介于所述第一气体源和所述第三混合歧管之间；

第八可变传导阀，其介于所述第二气体源和所述第三混合歧管之间；

第四混合歧管，其连接在所述第六气体歧管和第八气体歧管与所述第四气体出口之间；

第九可变传导阀，其连接在所述第一气体源和所述第四混合歧管之间；

第十可变传导阀，其介于所述第二气体源和所述第四混合歧管；

第十一可变传导阀，其介于所述第三混合歧管和所述第三气体出口之间；以及

第十二可变传导阀，其介于所述第四混合歧管和所述第四气体出口之间。

4.根据权利要求3所述的设备，其还包含处理室，其中所述第一处理站、所述第二处理站、所述第三处理站、以及所述第四处理站均位于所述处理室中。

5.根据权利要求4所述的设备，其还包含RF源，以提供RF功率至所述处理室。

6.根据权利要求1所述的设备，其还包含处理室，其中所述第一处理站和所述第二处理站均位于所述处理室中。

7.根据权利要求6所述的设备，其还包含RF源，以提供RF功率至所述处理室。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一和所述第二可变传导阀提供可调整的流量阻力。

9.根据权利要求8所述的设备，其还包含可控地连接至所述第一和所述第二可变传导阀的控制器，其中所述控制器适于调整所述第一和所述第二可变传导阀的流量阻力。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一和所述第二可变传导阀为蝶形阀。