[发明专利]分离气体流使用点消除装置

权利要求书

1.一种使用点(POU)消除装置，包括：

外壳，具有多个独立流动路径，每个独立流动路径由所述外壳内的对应入口、流动路径和出口来限定，并且被配置成有利于使分离的气体流流动通过相应的独立流动路径；和

一个或多个完全分离的破坏或移除装置，所述一个或多个完全分离的破坏或移除装置设置于所述外壳内的每个流动路径内，其中所述多个独立流动路径被配置成，维持流动通过所述POU消除装置的相应气体流的完全分离。

2.根据权利要求1所述的POU消除装置，还包括：

共用的再循环贮槽和共用的再循环泵，和多个分割壁，所述共用的再循环贮槽和再循环泵用于支持用于所述多个独立流动路径中的每一个的多个湿式洗涤部分，所述多个分隔壁延伸至所述共用的再循环贮槽中，到达所述共用的再循环贮槽的液面下方的点，且不接触所述共用的再循环贮槽的底部，以维持共用的再循环贮槽的所述液面上方的所述气体流的完全分离；或

多个独立再循环贮槽和多个再循环泵，以支持所述多个独立流动路径中的每一个的一个或多个湿式洗涤部分。

3.根据权利要求1所述的POU消除装置，其中所述一个或多个完全分离的破坏或移除装置中的每一个经由共用的控制器进行控制。

4.根据权利要求1所述的POU消除装置，其中所述多个独立流动路径被布置成多对主要流动路径和冗余流动路径，并且还包括：

分别用于所述多个独立流动路径中的每一对路径的旁通/转向阀和相关联的管件，用于选择性地将主要流动路径旁通至对应的冗余流动路径。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的POU消除装置，其中所述一个或多个完全分离的破坏或移除装置包括氧化装置和湿式洗涤塔。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的POU消除装置，其中所述一个或多个完全分离的破裂或移除装置包括：

多个氧化装置，所述多个氧化装置直接地连接至所述多个独立流动路径中的每一个的多个湿式洗涤部分。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的POU消除装置，其中所述一个或多个完全分离的破裂或移除装置包括：

湿式洗涤塔，用于所述多个独立流动路径中的每一个。

8.根据权利要求7所述的POU消除装置，还包括：

多个独立控制阀，用于所述湿式洗涤塔中的每一个。

9.根据权利要求7所述的POU消除装置，其中所述湿式洗涤塔中的每一个包括再循环洗涤部分和下游新鲜溶液洗涤部分。

10.根据权利要求9所述的POU消除装置，还包括：

多个独立控制阀，用于每个独立流动路径的每个独立的新鲜洗涤器，每个独立控制的阀包括单独的流动限制阀，并经由共用的控制器进行控制。

11.根据权利要求1至4中任一项所述的POU消除装置，其中所述一个或多个完全分离的破裂或移除装置包括：

主要湿式洗涤部分、氧化装置和辅助湿式洗涤部分。

12.根据权利要求11所述的POU消除装置，其中：

所述主要湿式洗涤部分被配置成，以同向流配置进行操作，并且其中所述辅助湿式洗涤部分被配置成，以逆向流配置进行操作；或

所述主要湿式洗涤部分和所述辅助湿式洗涤部分各自配置成以逆向流配置进行操作。

13.根据权利要求11所述的POU消除装置，还包括：

再循环贮槽，所述再循环贮槽联接至所述主要湿式洗涤部分。

14.根据权利要求11所述的POU消除装置，其中所述辅助湿式洗涤部分包括：

双重辅助湿式洗涤部分，所述双重辅助湿式洗涤部分具有联接至再循环贮槽的第一部分，和联接至新鲜溶液源的下游第二部分。

15.一种从对应的多个处理腔室消除多个气体流的方法，包括：

使多个独立气体流从多个处理腔室流动至使用点(POU)消除装置的外壳的多个独立流动路径；

使所述多个独立气体流中的每一个，流动通过设置于每个流动路径内的相应破坏或移除装置，同时维持所述多个独立气体流中的每一个完全地分离，从而至少部分地消除每个独立气体流内的化合物；和

从POU消除装置的所述外壳排出经消除的独立气体流中的每一个；

其中可选地，至少部分地消除每个独立气体流内的化合物包括，使每个独立气体流，流动通过分别设置于每个独立流动路径中的氧化装置或湿式洗涤塔中的至少一个；和

还可选地包括，使所述独立气体流的第一气体流，从所述独立流动路径的第一独立流动路径的主要流动路径，转向至所述第一独立流动路径的冗余流动路径，其中所述冗余流动路径设置于所述外壳内，并且包括一个或多个破坏或移除装置，以至少部分地消除流动通过所述冗余流动路径的所述独立气体流内的化合物。