[发明专利]麦克风组件、半导体管芯和降低麦克风的噪声的方法

权利要求书

1.一种麦克风组件，所述麦克风组件包括：

壳体，所述壳体包括基座、盖和声端口；

MEMS换能器元件，所述MEMS换能器元件设置在所述壳体中，所述换能器元件被配置成在换能器输出端处将声音转换成麦克风信号电压；以及

处理电路，所述处理电路包括：

跨导放大器，所述跨导放大器包括连接至所述换能器输出端以接收所述麦克风信号电压的输入节点，所述跨导放大器被配置成根据所述跨导放大器的预定跨导来生成表示所述麦克风信号电压的放大的电流信号；以及

模数转换器，所述模数转换器包括被连接以接收所述放大的电流信号的输入节点，所述模数转换器被配置成对所述放大的电流信号进行采样和量化，以生成对应数字麦克风信号，其中，所述模数转换器在1 kHz下的有效输入阻抗小于1 kΩ。

2.根据权利要求1所述的麦克风组件，其中，所述模数转换器包括：第一积分器级，所述第一积分器级用于接收所述放大的电流信号；以及量化器，其中：

所述第一积分器级和所述量化器串联连接，

所述第一积分器级被配置成响应于接收到所述放大的电流信号而产生输出，并且

所述量化器被配置成从所述第一积分器级接收所述输出并生成对应数字麦克风信号。

3.根据权利要求2所述的麦克风组件，其中，所述第一积分器级是电流敏感的第一积分器级。

4.根据权利要求2所述的麦克风组件，其中，所述模数转换器还包括电流输出反馈数模转换器，所述电流输出反馈数模转换器被配置成接收所述量化器的输出，并响应于接收到所述量化器的所述输出而在到所述第一积分器级的输入端的反馈路径中生成模拟反馈信号。

5.根据权利要求4所述的麦克风组件，其中，所述模拟反馈信号被从来自所述跨导放大器的所述放大的电流信号减去或与来自所述跨导放大器的所述放大的电流信号组合，并且作为输入供应至所述第一积分器级。

6.根据权利要求4所述的麦克风组件，其中，所述量化器被配置成以预定位数的分辨率生成所述对应数字麦克风信号，并且所述电流输出反馈数模转换器被配置成以所述预定位数工作，以生成所述模拟反馈信号，其中，所述预定位数大于3位。

7.根据权利要求1所述的麦克风组件，其中，所述跨导放大器是AB类跨导放大器。

8. 根据权利要求1所述的麦克风组件，其中，要由所述换能器元件转换的声音的频率大于0.1 Hz并且小于200 kHz。

9.根据权利要求1所述的麦克风组件，其中，所述换能器元件包括电容式换能器，所述电容式换能器在相互充电的第一换能器板和第二换能器板两端供应所述麦克风信号电压，并且其中，所述换能器元件表现出介于0.5 pF至10 pF之间的换能器电容。

10.根据权利要求1所述的麦克风组件，其中，所述模数转换器是以第一采样频率生成一位或多位数字麦克风信号的Σ-Δ调制器或转换器。

11.根据权利要求10所述的麦克风组件，其中，所述麦克风组件还包括：

反馈路径，所述反馈路径包括：

数字回路滤波器，所述数字回路滤波器被配置成接收所述数字麦克风信号并对所述数字麦克风信号进行滤波，以提供第一数字反馈信号；

附加的数模转换器，所述附加的数模转换器被配置成将所述第一数字反馈信号转换成对应附加的模拟反馈信号；以及

求和节点，所述求和节点位于所述换能器输出端处，所述求和节点被配置成组合所述麦克风信号和所述附加的模拟反馈信号。