[发明专利]应变传感器和拉伸特性测定方法在审
申请号: | 201980038404.0 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN112236657A | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 樋上智彦;森山信宏 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L25/00;H01L41/113;H01L41/193 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;黄纶伟 |
地址: | 日本国京*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 应变 传感器 拉伸 特性 测定 方法 | ||
1.一种应变传感器,其在板状的基板的一个面层叠有形成为膜状的传感器元件,
所述传感器元件具有压电膜和层叠在该压电膜的两面的电极,
关于所述基板,所述一个面形成为所层叠的所述传感器元件不伸出到外侧的大小,并且,在与所述一个面平行的拉伸方向上的两端部具有未层叠所述传感器元件的夹持部。
2.根据权利要求1所述的应变传感器,其中,
所述基板的所述一个面为矩形形状,并且所述拉伸方向为所述一个面的长度方向。
3.根据权利要求1或2所述的应变传感器,其中,
所述基板的厚度大于所述传感器元件的厚度。
4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的应变传感器,其中,
所述基板由绝缘材料形成。
5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的应变传感器,其中,
在所述基板的所述一个面安装有与所述传感器元件的输出线连接的第1端子以及覆盖与所述输出线连接的所述第1端子的端子罩。
6.根据权利要求4所述的应变传感器,其中,
在所述端子罩的内部填充有树脂。
7.根据权利要求5或6所述的应变传感器,其中,
从所述拉伸方向的一侧起,按所述夹持部、所述传感器元件、所述端子罩以及所述夹持部的顺序排列。
8.根据权利要求5~7中的任意一项所述的应变传感器,其中,
该应变传感器具有输出电路,该输出电路与所述传感器元件的所述输出线电连接,输出与所述传感器元件的输出对应的信号。
9.根据权利要求8所述的应变传感器,其中,
所述输出电路是将所述传感器元件的输出放大并输出的放大器电路。
10.根据权利要求8或9所述的应变传感器,其中,
所述输出电路设有所述第1端子,所述输出电路安装于所述基板的所述一个面。
11.一种拉伸特性测定方法,该拉伸特性测定方法针对权利要求1~10中的任意一项所述的应变传感器,测定与所述传感器元件的所述压电膜的厚度方向垂直的方向的特性,在该拉伸特性测定方法中,
保持形成于所述基板的两端部的所述夹持部,一边改变沿长度方向拉伸所述基板的拉伸力的大小,一边测量所述应变传感器的输出。
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