[发明专利]氧化锌薄膜形成用组合物和氧化锌薄膜的制造方法

说明书

本发明涉及用于在小于200℃的基材温度通过液滴涂布法形成氧化锌膜的组合物，其含有下述通式(1)所示的有机锌化合物和有机金属化合物，前述有机金属化合物中含有的金属元素是氧化物的带隙小于3.2eV的金属元素。本发明涉及氧化锌膜的制造方法，其包括将该组合物在小于200℃的基材温度进行液滴涂布，形成氧化锌膜。R¹‑Zn‑R¹ (1)式中，R¹是碳数1~7的直链或支链的烷基。根据本发明，通过成膜时的基材温度小于200℃的喷雾涂布法等液滴涂布法，可提供具有紫外线吸收能力、可见光透过性也优异、且膜厚为1μm以下的氧化锌薄膜。

技术领域

本发明涉及能够制造紫外线吸收性能提高了的氧化锌薄膜的、在比较低的温度下进行的液滴涂布法用的组合物、以及使用其的紫外线吸收性能提高了的氧化锌薄膜的制造方法。

相关申请的相互参考

本申请主张2018年2月28日申请的日本特愿2018-35780号的优先权，其全部记载在此特别作为公开而援引。

背景技术

在可见光区域具有高透过率的紫外线吸收膜广泛用于半导体、显示器、照明、汽车、窗玻璃、家具、包装容器等。

作为在可见光区域具有高透过率、且具有紫外线吸收能力、用作紫外线屏蔽膜的物质已知氧化锌膜(例如专利文献1)。专利文献1中，氧化锌膜通过CVD法或真空蒸镀法形成。

对于以紫外线吸收为目的的透明氧化锌膜，在各种用途中，从加工性、轻质等的角度，作为基材研究了在塑料、薄板玻璃等在高温下不能加热的基材、进而各种形状的基材中的应用。因此，为了在形成氧化锌膜时这些基材不变形或破损，需要在耐热温度或通过热休克不破损的比较低的温度下实施。

专利文献2中，记载了使用将有机锌化合物例如二乙基锌溶解于供电子性溶剂中得到的溶液，在喷雾涂布的同时将基板加热至300℃以下，而形成氧化锌薄膜的方法。实施例中有基板温度60℃下的成膜例和没有基板加热的成膜例的记载。

专利文献1：日本特开2008-105313号公报

专利文献2：日本特许第5288464号公报

专利文献3：日本特开平07-182939号公报。

发明内容

发明要解决的课题

专利文献2公开了目的在于提供形成在可见光区域光透过性优异的氧化锌薄膜的方法的发明，没有提及所形成的氧化锌薄膜的紫外线吸收性。要说明的是，通过专利文献2记载的方法进行1次喷雾涂布形成的氧化锌薄膜的膜厚为几百nm，是极薄的膜。

本发明人研究了通过专利文献2中记载的方法制造的氧化锌薄膜能否用作紫外线屏蔽膜。结果发现，如果成膜时的基材温度低于200℃，则所形成的薄膜的紫外线吸收能力大大降低。

另一方面，本发明人认为：在与基材的耐热性的关系上，基材温度越低越优选，例如如果在160℃以下得到可用作紫外线屏蔽膜，且可见光透过性也优异的膜厚为几百nm左右的氧化锌薄膜，则利用价值高。

本发明是鉴于上述课题而进行的。即，本发明的目的在于通过成膜时的基材温度小于200℃的喷雾涂布法等液滴涂布法，提供具有紫外线、特别是315nm~380nm的UV-A区域的吸收能力、可见光透过性也优异、且膜厚为1μm以下的氧化锌薄膜、并且提供其手段。

解决课题的手段

本发明人为了解决前述课题进行了深入研究，结果发现，通过在含有有机锌化合物的涂布液中添加含有氧化物的带隙比氧化锌小的金属元素的有机化合物，能够通过基材温度小于200℃的液滴涂布法，形成与使用不含有上述金属元素的涂布液的情况相比，紫外线吸收性能提高了的氧化锌薄膜，从而完成了本发明。

本发明如下所述。