[发明专利]有机金属化合物及利用其的薄膜有效
| 申请号： | 201980010593.0 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN111655702B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 河胜元;边煐勋;金点钟;金镐勋;千成学 | 申请（专利权）人： | 艾慕化学株式会社 |
| 主分类号： | C07F9/00 | 分类号： | C07F9/00;H01L21/02;C23C16/34;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理有限公司 11412 | 代理人： | 于未茗 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 利用 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种有机金属化合物，其特征在于，具有下述化学式3的结构：
[化学式3]
在上述化学式3中，M为V、Nb及Ta中的一种；Xa和Xc各自独立地为O或N；Xb为N；R1和R3各自独立地为氢或C1-6烷基，上述R1和R3根据Xa和Xc的原子价而存在或不存在；
A和B各自独立地为C1-3亚烷基或杂亚烷基。
2.一种有机金属化合物，其特征在于，具有下述化学式4的结构：
[化学式4]
在上述化学式4中，M为Nb或Ta。
3.一种用于半导体的含金属薄膜，其特征在于，通过包括权利要求1至2中任一项所述的有机金属化合物作为前体来制备。
4.一种半导体结构物，其特征在于，包括权利要求3所述的含金属薄膜。
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