[发明专利]测量处理装置、测量处理方法以及程序

说明书

测量处理装置具备：存储部；第一获取部，其获取从第一设备输出的、表示相对于测量对象物的测量的测量结果的第一信号；暂时存储部，其存储由所述第一获取部获取的所述第一信号；第二获取部，其获取从与所述第一设备不同的第二设备输出的第二信号，所述第二信号表示所述测量对象物的位置或与所述测量对象物的位置相对应地变化的变化量；存储控制部，其在所述存储部存储使所获取的所述第二信号与在所述暂时存储部中存储的所述第一信号相对应的测量信息；输出控制部，其将在所述存储部中存储的、至少一个所述测量信息向控制装置输出。

技术领域

本发明涉及测量处理装置、测量处理方法以及程序。

背景技术

在测量应用中，例如在对芯片部件的表面凹凸状态等不能通过目视确认的测量对象物的状态进行测量的情况下，一般使用专用的测量器。例如，在通过传感器对测量对象物的表面的凹凸状态进行检查的情况下，通过位移传感器等对测量对象物的表面进行扫描。作为该情况下的测量应用系统的构成的一个示例，将测量对象物放置在输送装置上，以恒定速度向恒定方向输送。然后，在该输送装置(测量对象物通过的区域)的上方配置位移传感器。由此，根据位移传感器所检测到的距测量对象物的表面的距离的位移，能够对表面的凹凸进行测量。

在这里，为了进行表面的凹凸状态的检查，需要使测量点与测量结果相对应地进行记录。一般来说，位移传感器以恒定的采样周期依次测量，因此测量结果作为时间序列数据生成。于是，根据从测量开始的经过时间和输送速度计算出测量点，使计算出的测量点与测量结果相对应。然而，上述现有的装置以测量对象物以恒定的输送速度被输送为前提，因此即使输送速度发生极小的变化，所计算出的测量点的计算精度也会降低。

与此相对，例如在专利文献1中公开了一种测量控制器，该测量控制器与输送量相对应地产生脉冲的编码器与输送装置连结，针对从编码器输出的脉冲的每恒定量的变化，执行读入位移传感器的测量结果的中断处理。由此，不是基于经过时间而是基于输送量来计算测量点，因此所计算出的测量点的计算精度得以提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利公开公报“特开2005－257482号公报”

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，在专利文献1所述的技术中，由于执行了中断处理，因此存在负担大，不能提高采样速度的问题。例如在对芯片部件的表面凹凸状态等不能通过目视确认的测量对象物的状态进行测量的情况下，以小的间隔相对于所在的大量测量点进行测量。因此，需要以高速读入测量数据，如果是通用的控制器，则难以对测量数据进行记录。

本发明是鉴于上述的点而做出的，其目的在于提供一种能够使测量点的计算精度提高，并且能够以更高速度对测量数据进行记录的测量处理装置、测量处理方法以及程序。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方案为测量处理装置，具备：存储部；第一获取部，其获取从第一设备输出的、表示相对于测量对象物的测量的测量结果的第一信号；暂时存储部，其存储由所述第一获取部获取的所述第一信号；第二获取部，其获取从与所述第一设备不同的第二设备输出的第二信号，所述第二信号表示所述测量对象物的位置或与所述测量对象物的位置相对应地变化的变化量；存储控制部，其在所述存储部存储使所获取的所述第二信号与在所述暂时存储部中存储的所述第一信号相对应的测量信息；输出控制部，其将在所述存储部中存储的、至少一个所述测量信息向控制装置输出。