[发明专利]电子基板及其制作方法、显示面板有效
申请号: | 201980001890.9 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN113287028B | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 肖云升;青海刚;董向丹;刘庭良 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 及其 制作方法 显示 面板 | ||
1.一种电子基板,包括:
衬底基板,包括显示区和位于所述显示区外的周边区;
多个子像素,位于所述显示区中;
多条数据线,位于所述显示区中,配置为为所述多个子像素提供数据信号;
多个信号输入垫,位于所述周边区,所述多个信号输入垫和所述多条数据线电连接;
多条第一检测线和多条第二检测线,位于所述周边区且位于所述多个信号输入垫远离所述显示区的一侧,与所述多个信号输入垫电连接,
其中,所述多条第一检测线为非金属导电材料,所述多条第二检测线为金属导电材料,每相邻两条第二检测线之间设置有至少一条所述第一检测线;
所述电子基板包括切割面,所述第一检测线包括第一切割面,所述第一切割面为所述电子基板的切割面的第一部分,且所述第一切割面为所述非金属的导电材料的切割面。
2.如权利要求1所述的电子基板,其中,所述第一检测线的材料为导体化处理的半导体材料。
3.如权利要求1所述的电子基板,其中,所述第一检测线的材料包括硅或导电金属氧化物。
4.如权利要求1所述的电子基板,其中,所述第一检测线的材料包括低温多晶硅。
5.如权利要求1所述的电子基板,其中,所述第二检测线包括第二切割面,所述第二切割面为所述电子基板的切割面的第二部分,且所述第二切割面为所述金属导电材料的切割面。
6.如权利要求5所述的电子基板,其中,所述衬底基板包括第三切割面,所述第三切割面为所述电子基板的切割面的第三部分,所述第三切割面位于所述多条第一检测线和所述多条第二检测线远离所述显示区一侧,且与所述第一切割面和所述第二切割面均齐平。
7.如权利要求1所述的电子基板,其中,所述多个子像素中的至少一个包括晶体管和存储电容;
所述晶体管包括依次层叠于所述衬底基板上的有源层、第一栅绝缘层、栅极、第二栅绝缘层、层间绝缘层及源漏电极层,所述有源层位于所述栅极靠近所述衬底基板的一侧;
所述存储电容包括第一电容电极和第二电容电极,所述第一电容电极与所述栅极同层设置,所述第二电容电极位于所述第二栅绝缘层和与所述层间绝缘层之间。
8.如权利要求7所述的电子基板,其中,所述第一检测线与所述有源层同层设置。
9.如权利要求7所述的电子基板,其中,所述第二检测线与所述第一电容电极或所述第二电容电极同层设置。
10.如权利要求7所述的电子基板,其中,所述多个信号输入垫与所述源漏电极层同层设置。
11.如权利要求1-10任一所述的电子基板,其中,所述第一检测线在所述衬底基板上的正投影与所述第二检测线在所述衬底基板上的正投影一一交替排列。
12.一种显示面板,包括如权利要求1-11任一所述的电子基板。
13.一种电子基板的制作方法,包括:
在衬底基板上的显示区中形成多个子像素和多条数据线,所述多条数据线配置为为所述多个子像素提供数据信号;
在所述衬底基板的所述显示区外的周边区中形成多个信号输入垫,所述多个信号输入垫和所述多条数据线连接;以及
在所述周边区形成多条第一检测线和多条第二检测线,所述多条第一检测线和多条第二检测线位于所述多个信号输入垫远离所述显示区的一侧,与所述多个信号输入垫电连接,
其中,所述多条第一检测线为非金属导电材料,所述多条第二检测线为金属导电材料,每相邻两条第二检测线之间设置有至少一条所述第一检测线;
所述电子基板包括切割面,所述第一检测线包括第一切割面,所述第一切割面为所述电子基板的切割面的第一部分,且所述第一切割面为所述非金属的导电材料的切割面。
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