[实用新型]一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置

说明书

本实用新型属于锁定装置技术领域，尤其涉及一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置，包括平台、三个定位件、锁紧件、气缸固定件、气缸、锁紧运动组件；晶圆盒FOUP设置平台上，平台上固定有定位件，定位件与晶圆盒FOUP底部的三个定位孔对应，使晶圆盒FOUP通过定位件设置平台上；气缸通过气缸固定件固定在平台下方；通过气缸驱动锁紧运动组件，锁紧运动组件的组件气缸连接件向后运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行顺时针旋转，实现FOUP解锁；组件气缸连接件向前运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行逆时针旋转，实现FOUP锁定。本实用新型能提高安全性能、速度快、循环时间短、成本低。

技术领域

本实用新型属于锁定装置技术领域，尤其涉及一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置。

背景技术

随着国内半导体行业的发展及集成电路代工厂自动化程度的提高，晶圆盒FOUP自动装载设备在集成电路装备上的使用范围越来越广。对晶圆盒自动装载设备的自动化性能、速度、可靠性、稳定性、安全性要求越来越高，对成本降低的要求也相应提高。现有的技术包括两种：(1)自动锁定是通过上升、向前、下降三个动作，两个驱动机构完成，(2)自动解锁是通过上升，向后，下降是三个动作，两个驱动结构完成，结构复杂，成本高，锁定解锁时间长。为此，我们提出一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可以自动锁定与解锁FOUP，安全性能高、速度高、循环时间短、成本低的晶圆盒自动锁定与解锁装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置，包括平台、三个定位件、锁紧件、气缸固定件、气缸、锁紧运动组件；

晶圆盒FOUP设置平台上，平台上固定有定位件，定位件与晶圆盒FOUP底部的三个定位孔对应，使晶圆盒FOUP通过定位件设置平台上；气缸通过气缸固定件固定在平台下方；

锁紧运动组件包括固定件、旋转轴、深沟球轴承、旋转连杆、滚针和组件气缸连接件，锁紧运动组件通过组件气缸连接件固定在气缸上，气缸连接件上设有滚针，气缸连接件通过滚针连接旋转连杆；两个固定件通过螺栓连接固定在平台下方，旋转轴两侧固定在固定件上，旋转轴上装配有2个深沟球轴承，旋转连杆装配在深沟球外圆；

锁紧件固定在旋转连杆上，锁紧件为弧形结构；

气缸驱动组件气缸连接件向后运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行顺时针旋转，实现FOUP解锁；

气缸驱动组件气缸连接件向前运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行逆时针旋转，实现FOUP锁定。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型包括平台、三个定位件、锁紧件、气缸固定件、气缸、锁紧运动组件，将晶圆盒FOUP设置平台上，平台上固定有定位件，定位件与晶圆盒FOUP底部的三个定位孔对应，使晶圆盒FOUP通过定位件设置平台上；气缸通过气缸固定件固定在平台下方，通过气缸驱动锁紧运动组件，锁紧运动组件的组件气缸连接件向后运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行顺时针旋转，实现FOUP解锁；组件气缸连接件向前运动，滚针在旋转连杆矩形长槽内移动，带动旋转连杆与锁紧件进行逆时针旋转，实现FOUP锁定。利用一个驱动实现了FOUP的锁定与解锁功能，简化了机械结构及控制模块，降低了成本，提高了装置的可靠性；降低了循环运动时间，提高了速度；结构与控制机构简单，降低了设备维修时间与成本。

附图说明

图1是晶圆盒FOUP自动锁定与解锁装置正视图；

图2是晶圆盒FOUP解锁状态局部放大视图；