[实用新型]一种氮化钽薄膜电阻器制造设备

说明书

本实用新型公开一种氮化钽薄膜电阻器制造设备，属于电阻器制造技术领域。所述氮化钽薄膜电阻器制造设备包括真空室、旋转装置、抽气泵组、供气装置、磁控装置、热阻蒸发装置、AR离子清洗装置和电子束蒸发装置；所述抽气泵组和所述供气装置均穿过所述真空室，并与其内部连通，分别用于抽出所述真空室内的空气和充入稀有气体；所述抽气泵组保证所述真空室处于真空状态，使AR离子旋转清洗、氮化钽薄膜电阻层镀膜、钛金属镀膜、贵金属镀膜和蚀刻图形的制备工艺均在真空条件下完成，与传统自然环境下的常规制备工艺相比，生产出的氮化钽薄膜电阻器合格率更高，使用寿命更长，且生产效率也大大提高。

技术领域

本实用新型涉及电阻器制造技术领域，特别涉及一种氮化钽薄膜电阻器制造设备。

背景技术

电阻器是各类电子设备不可或缺的电子元件，更是所有电子电路中使用最多的元器件之一。近年来，电子信息技术的高速发展对电子元件技术不断提出新的要求，电阻器技术也得到了全新的发展，已由传统的绕线电阻、金属膜电阻、石墨电阻和片式厚膜电阻发展成为现在的片式薄膜电阻。同时，近21世纪以来，复杂的军事环境和小型化消费类电子产品的井喷式发展要求电阻器本身具有高可靠性和高适应性。因此，超小型化、高精化、低温度系数化、绿色环保化以及贱金属化成为片式电阻发展的主要方向。而传统的厚膜片式电阻由于生产工艺及材料类型的限制，已难在高精度、高稳定等性能方面再有大的提高。相比较而言，薄膜片式电阻应用最被看好，是替代低精度厚膜片式电阻及其他传统引线电阻的理想产品。

氮化钽薄膜电阻器是薄膜片式电阻器中较为常见的一种，由于其对制造设备的要求较高，导致目前生产的氮化钽薄膜电阻器合格率较低，且使用寿命达不到设计值。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氮化钽薄膜电阻器制造设备，以解决传统的氮化钽薄膜电阻器制造设备生产的氮化钽薄膜电阻器合格率较低，且使用寿命达不到设计值的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种氮化钽薄膜电阻器制造设备，包括真空室、旋转装置、抽气泵组、供气装置、磁控装置、热阻蒸发装置、AR离子清洗装置和电子束蒸发装置；

所述抽气泵组和所述供气装置均穿过所述真空室，并与其内部连通，分别用于抽出所述真空室内的空气和充入稀有气体；

所述磁控装置、所述热阻蒸发装置、所述AR离子清洗装置和所述电子束蒸发装置均固定连接于所述真空室内部。

可选的，所述旋转装置固定连接于所述真空室内部顶端，并且所述旋转装置能够在所述真空室内部自转；所述旋转装置上均匀分布有若干个伞架，衬底基板固定放置于所述伞架表面，所述伞架和所述衬底基板均跟随所述旋转装置旋转。

可选的，所述磁控装置上放置有射频溅射靶材，对所述衬底基板进行镀膜；所述磁控装置上设置有调节机构，用于调节所述磁控装置的高度和角度。

可选的，所述热阻蒸发装置由若干个阻舟组成，每个阻舟中均放置有贵金属金，通过热阻蒸发所述阻舟中的贵金属金对所述氮化钽薄膜电阻器进行贵金属镀膜。

可选的，所述电子束蒸发装置由若干个钳锅组成，每个钳锅中均放置有贵金属铂，通过电子束蒸发所述钳锅中的贵金属对所述氮化钽薄膜电阻器进行贵金属镀膜。

可选的，所述供气装置中设置有导流机构，所述导流机构包括分流板、混流板和隔板；所述混流板位于两块分流板之间，所述混流板和所述分流板之间均放置有所述隔板。

可选的，所述分流板和所述隔板上均开有通槽，用于将气体导入所述混流板；所述分流板上还开有若干条锯齿导流槽；所述混流板上开有若干条锯齿混流槽。

可选的，所述真空室侧壁安装有若干个真空计和热电偶温度计，分别用于检测所述真空室内部的真空度和温度。

可选的，所述抽气泵组由若干个抽气泵串联而成，所述抽气泵组与所述真空室连接的气管上安装有气体阀门。