[实用新型]一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架有效
| 申请号: | 201922393448.5 | 申请日: | 2019-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN211771536U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
| 发明(设计)人: | 周检;陈阿青 | 申请(专利权)人: | 杭州睿清环保科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/44 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 制备 尺寸 金刚石 薄膜 支架 | ||
1.一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架,包括上钼电极(1),下钼电极(2),陶瓷管(3),热丝(4),钼圆棒(5),钼块(6),绝热挡板(7),钼螺丝(8)和高温弹簧(9),其特征在于所述的上钼电极(1)和下钼电极(2)通过钼圆棒(5)连接固定;
钼圆棒(5)与上钼电极(1)之间用绝缘陶瓷隔开,与下钼电极之间直接连接;
上钼电极(1)的一侧等间距布置螺丝孔,螺丝孔的方向与上钼电极(1)的轴向垂直;
钼块(6)上设有与上钼电极(1)上一侧的螺丝孔相对应的螺纹孔,且两端设有与钼圆棒(5)外径相等的圆孔,通过圆孔套在钼圆棒(5)上,位于上钼电极(1)和下钼电极(2)之间;
高温弹簧(9)套在钼圆棒上,布置在钼块(6)和下钼电极(2)之间;
陶瓷管(3)套在上钼电极(1)和下钼电极(2)的另一端,并同上钼电极(1)和下钼电极(2)一起穿过绝热挡板(7)。
2.按照权利要求1所述的一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架,其特征在于,高温弹簧为轻质弹簧,能够被钼块(6)压缩。
3.按照权利要求1所述的一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架,其特征在于,穿过绝热挡板(7)一端的底部的上钼电极(1)和下钼电极(2)设有用于连接铜缆的螺丝孔。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





