[实用新型]一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架有效

专利信息
申请号: 201922393448.5 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN211771536U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 周检;陈阿青 申请(专利权)人: 杭州睿清环保科技有限公司
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/44
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 制备 尺寸 金刚石 薄膜 支架
【权利要求书】:

1.一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架,包括上钼电极(1),下钼电极(2),陶瓷管(3),热丝(4),钼圆棒(5),钼块(6),绝热挡板(7),钼螺丝(8)和高温弹簧(9),其特征在于所述的上钼电极(1)和下钼电极(2)通过钼圆棒(5)连接固定;

钼圆棒(5)与上钼电极(1)之间用绝缘陶瓷隔开,与下钼电极之间直接连接;

上钼电极(1)的一侧等间距布置螺丝孔,螺丝孔的方向与上钼电极(1)的轴向垂直;

钼块(6)上设有与上钼电极(1)上一侧的螺丝孔相对应的螺纹孔,且两端设有与钼圆棒(5)外径相等的圆孔,通过圆孔套在钼圆棒(5)上,位于上钼电极(1)和下钼电极(2)之间;

高温弹簧(9)套在钼圆棒上,布置在钼块(6)和下钼电极(2)之间;

陶瓷管(3)套在上钼电极(1)和下钼电极(2)的另一端,并同上钼电极(1)和下钼电极(2)一起穿过绝热挡板(7)。

2.按照权利要求1所述的一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架,其特征在于,高温弹簧为轻质弹簧,能够被钼块(6)压缩。

3.按照权利要求1所述的一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架,其特征在于,穿过绝热挡板(7)一端的底部的上钼电极(1)和下钼电极(2)设有用于连接铜缆的螺丝孔。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州睿清环保科技有限公司,未经杭州睿清环保科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922393448.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top