[实用新型]一种芯片贴膜压平除气装置有效
申请号: | 201922268672.1 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN210778508U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 田光明;王波;王小波 | 申请(专利权)人: | 无锡科瑞泰半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/48 |
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地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 压平 装置 | ||
1.一种芯片贴膜压平除气装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上端连接有底板(2),所述工作台(1)的上端两侧分别设有侧板(3),两组所述侧板(3)之间连接有顶板(4),所述顶板(4)的内部一侧安装有第一液压缸(5),所述顶板(4)的内部一侧设有滑槽(6),所述滑槽(6)中滑接有滑板(7),所述第一液压缸(5)的输出端贯穿至滑槽(6)中连接至滑板(7)的一侧,所述滑板(7)的下端连接有第二液压缸(8),所述第二液压缸(8)的输出端连接有安装座(9),所述安装座(9)的两端分别连接有连接架(10),右侧所述连接架(10)的下端连接有第一压辊(11),左侧所述连接架(10)的下端连接有第二压辊(12),所述安装座(9)的内部左侧设有用于安装支撑板(26)的空腔,所述支撑板(26)的上端中部连接有导柱(25),所述支撑板(26)的上端两侧还分别连接有第一弹簧(23),所述第一弹簧(23)的上端连接至空腔的上壁,空腔的上壁中部连接有L型橡胶块(24),所述导柱(25)的上端连接至L型橡胶块(24)的内部,所述支撑板(26)的两端分别连接有滑块(21),且空腔的两侧壁中分别设有滑轨,滑轨中安装有第二弹簧(22),所述滑块(21)滑接于滑轨中,所述第二弹簧(22)的下端连接至滑块(21)的上端,所述支撑板(26)的下端通过支杆活动连接有碾压辊(20),所述安装座(9)的下端还设有用于安装第三弹簧(16)的安装槽(15),所述第三弹簧(16)的下端连接有压杆(17),所述压杆(17)的下端连接有压板(18),右侧所述侧板(3)的上端还安装有风扇(13),所述风扇(13)的入风端朝向底板(2)的上端。
2.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述工作台(1)的下端四角分别连接有支撑腿(27),所述侧板(3)的下端连接至支撑腿(27)上。
3.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述滑槽(6)为T型滑槽,所述滑板(7)为T型滑板,所述顶板(4)中设有用于安装第一液压缸(5)的安装槽。
4.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述第一压辊(11)位于底板(2)的右端,所述第二压辊(12)位于底板(2)的左端。
5.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述压板(18)的下端连接有软板(19),所述软板(19)为橡胶软板。
6.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述风扇(13)的入风端连接有进风管(14),所述进风管(14)的一端贯穿于侧板(3)中朝向底板(2)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造