[实用新型]一种芯片贴膜压平除气装置有效

专利信息
申请号: 201922268672.1 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN210778508U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 田光明;王波;王小波 申请(专利权)人: 无锡科瑞泰半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 压平 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片贴膜压平除气装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上端连接有底板(2),所述工作台(1)的上端两侧分别设有侧板(3),两组所述侧板(3)之间连接有顶板(4),所述顶板(4)的内部一侧安装有第一液压缸(5),所述顶板(4)的内部一侧设有滑槽(6),所述滑槽(6)中滑接有滑板(7),所述第一液压缸(5)的输出端贯穿至滑槽(6)中连接至滑板(7)的一侧,所述滑板(7)的下端连接有第二液压缸(8),所述第二液压缸(8)的输出端连接有安装座(9),所述安装座(9)的两端分别连接有连接架(10),右侧所述连接架(10)的下端连接有第一压辊(11),左侧所述连接架(10)的下端连接有第二压辊(12),所述安装座(9)的内部左侧设有用于安装支撑板(26)的空腔,所述支撑板(26)的上端中部连接有导柱(25),所述支撑板(26)的上端两侧还分别连接有第一弹簧(23),所述第一弹簧(23)的上端连接至空腔的上壁,空腔的上壁中部连接有L型橡胶块(24),所述导柱(25)的上端连接至L型橡胶块(24)的内部,所述支撑板(26)的两端分别连接有滑块(21),且空腔的两侧壁中分别设有滑轨,滑轨中安装有第二弹簧(22),所述滑块(21)滑接于滑轨中,所述第二弹簧(22)的下端连接至滑块(21)的上端,所述支撑板(26)的下端通过支杆活动连接有碾压辊(20),所述安装座(9)的下端还设有用于安装第三弹簧(16)的安装槽(15),所述第三弹簧(16)的下端连接有压杆(17),所述压杆(17)的下端连接有压板(18),右侧所述侧板(3)的上端还安装有风扇(13),所述风扇(13)的入风端朝向底板(2)的上端。

2.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述工作台(1)的下端四角分别连接有支撑腿(27),所述侧板(3)的下端连接至支撑腿(27)上。

3.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述滑槽(6)为T型滑槽,所述滑板(7)为T型滑板,所述顶板(4)中设有用于安装第一液压缸(5)的安装槽。

4.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述第一压辊(11)位于底板(2)的右端,所述第二压辊(12)位于底板(2)的左端。

5.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述压板(18)的下端连接有软板(19),所述软板(19)为橡胶软板。

6.根据权利要求1所述的一种芯片贴膜压平除气装置,其特征在于:所述风扇(13)的入风端连接有进风管(14),所述进风管(14)的一端贯穿于侧板(3)中朝向底板(2)上。

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