[实用新型]一种硅片承载花篮

权利要求书

1.一种硅片承载花篮，其特征在于，包括：

端板(1)，所述端板(1)为两个，两个所述端板(1)间隔设置，两个所述端板(1)能够分别与金属花篮(100)的两个端面板对接；

支撑组件，所述支撑组件为两个，两个所述支撑组件间隔设置，每个所述支撑组件均包括两个间隔设置的支撑杆(2)，每个所述支撑杆(2)上均设有用于卡接硅片的多个卡接槽(21)，每个所述支撑杆(2)的两端分别与两个所述端板(1)相连，两个所述支撑组件分别用于支撑所述硅片的相对设置的两个侧边；

插槽板(3)，所述插槽板(3)为两个，每个所述插槽板(3)对应一个所述支撑组件设置且位于所述支撑组件的两个所述支撑杆(2)之间，每个所述插槽板(3)上设有多个连通卡槽(31)，每个所述连通卡槽(31)能够将两个所述支撑杆(2)上的对应的两个卡接槽(21)连通，所述插槽板(3)的两端与所述端板(1)可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，每个所述端板(1)的朝向彼此的端面上设有配合凸起(121)，每个所述插槽板(3)的两端分别设有与所述配合凸起(121)配合的配合凹槽(32)。

3.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述配合凸起(121)为间隔设置的多个。

4.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，其中一个所述端板(1)上的所述配合凸起(121)的横截面积在靠近另一个所述端板(1)的方向上逐渐增大。

5.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，每个所述端板(1)的相对设置的两个侧壁上设有插接凹槽(122)，所述插槽板(3)的两端设有与所述插接凹槽(122)配合的插接凸起(33)。

6.根据权利要求5所述的硅片承载花篮，其特征在于，每个所述端板(1)的一个侧壁上的所述插接凹槽(122)为间隔设置的多个。

7.根据权利要求5所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述插接凹槽(122)的宽度在远离所述端板(1)的侧壁的方向上逐渐减小。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片承载花篮，其特征在于，每个所述端板(1)形成为U型，所述端板(1)的敞开端设有对接凸起，所述金属花篮(100)的所述端面板上设有与所述对接凸起配合的对接凹槽。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的硅片承载花篮，其特征在于，每个所述端板(1)形成为U型板，所述U型板包括一个横部(11)和两个纵部(12)，两个所述支撑组件分别设在两个所述纵部(12)上，所述硅片承载花篮还包括支撑柱(4)，所述支撑柱(4)为多个，每个所述支撑柱(4)的两端分别与两个所述端板(1)的两个所述横部(11)上。