[实用新型]用于DFN封装器件的封装加工装置有效
| 申请号: | 201922077047.9 | 申请日: | 2019-11-27 |
| 公开(公告)号: | CN211045408U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
| 发明(设计)人: | 马磊;党鹏;杨光;彭小虎;王新刚;庞朋涛;任斌;王妙妙 | 申请(专利权)人: | 西安航思半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67;B24B55/06;B24B9/06 |
| 代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 710300 陕西省西安市鄠*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 dfn 封装 器件 加工 装置 | ||
本实用新型公开一种用于DFN封装器件的封装加工装置,包括支撑板、第一框架、第二框架、第三框架、打标器和打磨机构,所述第一框架、第二框架、第三框架依次连接设置于支撑板的同一侧,所述打标器设置于第二框架上方,所述打磨机构安装于第三框架上方;所述第一框架、第二框架、第三框架各自相对的两个内壁上均安装有一电磁滑轨,位于第一框架、第二框架、第三框架同一侧内壁上的电磁滑轨连通,相对设置的电磁滑轨之间连接有一移动块;所述打磨机构包括顶板和活动安装于顶板下方的打磨头,所述顶板一侧与支撑板固定连接,此顶板的另一侧设置有一挡板。本实用新型丰富了装置的内涵、提高了对半导体器件加工的自动化程度,还可以避免打磨过程中产生的碎屑飞溅。
技术领域
本实用新型涉及半导体器件封装领域,具体为一种用于DFN封装器件的封装加工装置。
背景技术
半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间,利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件,可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换,半导体器件的半导体材料是硅、锗或砷化镓,可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材。
现有的半导体器件封装过程中打标只能逐面进行,将半导体器件一面打标之后还需要人工进行翻面,操作麻烦。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:为了解决现有的半导体器件封装打标不能进行双面打标的问题,提供一种用于DFN封装器件的封装加工装置。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种用于DFN封装器件的封装加工装置,包括支撑板、第一框架、第二框架、第三框架、打标器和打磨机构,所述第一框架、第二框架、第三框架依次连接设置于支撑板的同一侧,所述打标器设置于第二框架上方,所述打磨机构安装于第三框架上方;
所述第一框架、第二框架、第三框架各自相对的两个内壁上均安装有一电磁滑轨,位于第一框架、第二框架、第三框架同一侧内壁上的电磁滑轨连通,相对设置的电磁滑轨之间连接有一移动块;
所述支撑板相背于第二框架的一侧安装有一电机,此电机的输出轴上连接有一第一齿轮,所述支撑板上可转动地安装有一转盘,所述转盘相背于第二框架的一侧表面上安装有一第二齿轮,此第二齿轮与所述第一齿轮啮合,所述转盘的另一侧表面上安装有至少两个连接块,此连接块均与第二框架固定连接;
所述支撑板上设置有一圆环形滑槽,此滑槽内沿周向可转动地设置有若干钢珠,所述转盘嵌入此滑槽内并通过所述钢珠与支撑板转动连接;
所述打磨机构包括顶板和活动安装于顶板下方的打磨头,所述顶板一侧与支撑板固定连接,此顶板的另一侧设置有一挡板,此挡板安装于第三框架上。
上述技术方案中进一步改进的方案如下:
1. 上述方案中,所述打磨机构的顶板下表面设置有横向滑轨和纵向滑轨。
2. 上述方案中,所述打磨头的数目为2~6个。
3. 上述方案中,所述若干钢珠的数目为10~20颗,此10~20颗钢珠沿周向等间隔设置。
4. 上述方案中,所述支撑板上开有供转盘穿过的圆形通孔。
5. 上述方案中,所述圆环形滑槽位于圆形通孔的圆周外侧。
6. 上述方案中,所述转盘的中部自圆形通孔内穿出,所述转盘的周向边缘处嵌入滑槽内。
7. 上述方案中,所述第二框架为由四根梁体首尾依次连接而成的矩形框架。
8. 上述方案中,所述移动块的两个侧表面上均设置有若干与电磁滑轨对应的滑块,此滑块与电磁滑轨滑动连接。
9. 上述方案中,所述移动块上设置有若干通槽,此通槽与半导体器件卡合连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





