[实用新型]一种UV膜解胶机有效

专利信息
申请号: 201921993514.6 申请日: 2019-11-18
公开(公告)号: CN210897209U 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 李志卫;张仕俊;石正娟 申请(专利权)人: 苏州新米特电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 uv 膜解胶机
【说明书】:

本实用新型公开了一种UV膜解胶机,涉及UV解胶的技术领域,旨在解决UV灯温度控制的技术问题;其技术方案要点是一种UV膜解胶机,包括机架,所述机架上设有传送组件,所述传送组件上设有UV光源箱,所述UV光源箱上设有温度显示器,所述UV光源内设有UV灯,所述UV光源箱内还设有检测温度的温度传感器,所述传送组件上设有调节温度的温控开关,所述温控开关包括温控调节旋钮、以及调速按钮,所述UV光源箱上设有通风组件,利用温度传感器与温度显示器对UV光源箱内的温度监控,通过温度显示器及时的对UV光源箱内的温度进行温度调节,达到了对UV光源箱内温度及时调节控制目的,具有提高UV膜解胶效率的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及UV解胶的技术领域,尤其是涉及一种UV膜解胶机。

背景技术

半导体在工业生产中,需要在晶圆表面贴上UV膜,以便于对晶圆进行工艺加工。在加工完成后需要去除UV膜,用UV灯照射后,UV膜的粘度降低,可以方便去除UV膜。

现有的公告号为CN207818529U的中国专利公布了一种UV解胶机,包括机架,所述机架上设有UV光源与遮光灯,所述机架内设有驱动装置,所述机架上设有机械臂,所述机械臂一侧设有机械臂安放槽,所述机械臂安放槽内设有轨道;利用机械臂将放置在机械臂安放槽上,驱动装置将驱动轨道将机械臂安放槽上的UV膜送进机架内,利用UV光源对UV膜进行照射,UV膜被照射结束后,驱动装置将会驱动轨道将UV膜返回到入口处。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷:UV膜在进入机架内进行UV照射解胶的过程,需要对UV灯的温度有严格的控制,UV胶的解胶温度不能过低,温度过低不能达到解胶效果,温度过高对UV膜容易烧伤,因此UV膜在进入机架内是需要对UV光源的温度有严格的控制,进而提高UV膜解胶的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种UV膜解胶机,其具有对UV光源箱内温度控制的目的,达到提高的UV膜解胶效率的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的:一种UV膜解胶机,包括机架,所述机架上设有传送组件,所述传送组件上设有UV光源箱,所述UV光源箱内设有UV灯,所述UV光源箱上设有通风组件,所述UV光源箱上设有入口温度显示器与出口温度显示器,所述UV光源箱上设有UV膜入口与UV膜出口,所述UV光源箱内UV膜入口处设有入口温度传感器,所述UV光源箱内UV膜出口处设有出口温度传感器,所述机架底部设有驱动电机。

通过采用上述技术方案,通过在UV光源箱内增加温度传感器,对UV光源箱内的温度进行监控,并将温度通过温度显示器显示出来,然后及时对UV灯的光照强度做出调节,UV光源箱的上设有通风组件,由于UV灯不能长时间照射人体,所以UV光源箱的设计相对密封,因此UV光源箱内的温度不能及时散热,进而导致温度不能稳定在恒温值,所以利用通风组件对UV光源箱内的热量箱箱体外排放,达到控制箱体内的温度的效果,在箱体内设有入口温度传感器与出口温度传感器,对传送组件上的入口处与出口处都进型温度检测,达到对温度控制更加具体的技术效果,同时也是为了防止温度传感器由于长时间处在非常温的环境中,容易损坏温度传感器探头,两个温度显示器既有对比的效果。

本实用新型进一步设置为:所述通风组件包括通风壳体与通风口,所述通风口内设有风扇,所述通风口上还设有通风网格。

通过采用上述技术方案,通风组件包括通风壳体与通风口,通风上组件的作用是将UV光源箱的温度及时排出,将热气从通风口出向箱体外排放,通风口内设有风扇,风扇能够加快热量散发的速度,风扇上设有通风网格,通风网格相对较密集,其作用是不仅仅是放置东西掉进UV光源箱内,还能够减少UV光的外泄。

本实用新型进一步设置为:所述传送组件包括传送辊轮、与传送辊轮上的传送带,所述传送带上设有网格。

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