[实用新型]一种UV膜解胶机有效
申请号: | 201921993514.6 | 申请日: | 2019-11-18 |
公开(公告)号: | CN210897209U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 李志卫;张仕俊;石正娟 | 申请(专利权)人: | 苏州新米特电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 uv 膜解胶机 | ||
本实用新型公开了一种UV膜解胶机,涉及UV解胶的技术领域,旨在解决UV灯温度控制的技术问题;其技术方案要点是一种UV膜解胶机,包括机架,所述机架上设有传送组件,所述传送组件上设有UV光源箱,所述UV光源箱上设有温度显示器,所述UV光源内设有UV灯,所述UV光源箱内还设有检测温度的温度传感器,所述传送组件上设有调节温度的温控开关,所述温控开关包括温控调节旋钮、以及调速按钮,所述UV光源箱上设有通风组件,利用温度传感器与温度显示器对UV光源箱内的温度监控,通过温度显示器及时的对UV光源箱内的温度进行温度调节,达到了对UV光源箱内温度及时调节控制目的,具有提高UV膜解胶效率的技术效果。
技术领域
本实用新型涉及UV解胶的技术领域,尤其是涉及一种UV膜解胶机。
背景技术
半导体在工业生产中,需要在晶圆表面贴上UV膜,以便于对晶圆进行工艺加工。在加工完成后需要去除UV膜,用UV灯照射后,UV膜的粘度降低,可以方便去除UV膜。
现有的公告号为CN207818529U的中国专利公布了一种UV解胶机,包括机架,所述机架上设有UV光源与遮光灯,所述机架内设有驱动装置,所述机架上设有机械臂,所述机械臂一侧设有机械臂安放槽,所述机械臂安放槽内设有轨道;利用机械臂将放置在机械臂安放槽上,驱动装置将驱动轨道将机械臂安放槽上的UV膜送进机架内,利用UV光源对UV膜进行照射,UV膜被照射结束后,驱动装置将会驱动轨道将UV膜返回到入口处。
上述中的现有技术方案存在以下缺陷:UV膜在进入机架内进行UV照射解胶的过程,需要对UV灯的温度有严格的控制,UV胶的解胶温度不能过低,温度过低不能达到解胶效果,温度过高对UV膜容易烧伤,因此UV膜在进入机架内是需要对UV光源的温度有严格的控制,进而提高UV膜解胶的效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种UV膜解胶机,其具有对UV光源箱内温度控制的目的,达到提高的UV膜解胶效率的效果。
本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的:一种UV膜解胶机,包括机架,所述机架上设有传送组件,所述传送组件上设有UV光源箱,所述UV光源箱内设有UV灯,所述UV光源箱上设有通风组件,所述UV光源箱上设有入口温度显示器与出口温度显示器,所述UV光源箱上设有UV膜入口与UV膜出口,所述UV光源箱内UV膜入口处设有入口温度传感器,所述UV光源箱内UV膜出口处设有出口温度传感器,所述机架底部设有驱动电机。
通过采用上述技术方案,通过在UV光源箱内增加温度传感器,对UV光源箱内的温度进行监控,并将温度通过温度显示器显示出来,然后及时对UV灯的光照强度做出调节,UV光源箱的上设有通风组件,由于UV灯不能长时间照射人体,所以UV光源箱的设计相对密封,因此UV光源箱内的温度不能及时散热,进而导致温度不能稳定在恒温值,所以利用通风组件对UV光源箱内的热量箱箱体外排放,达到控制箱体内的温度的效果,在箱体内设有入口温度传感器与出口温度传感器,对传送组件上的入口处与出口处都进型温度检测,达到对温度控制更加具体的技术效果,同时也是为了防止温度传感器由于长时间处在非常温的环境中,容易损坏温度传感器探头,两个温度显示器既有对比的效果。
本实用新型进一步设置为:所述通风组件包括通风壳体与通风口,所述通风口内设有风扇,所述通风口上还设有通风网格。
通过采用上述技术方案,通风组件包括通风壳体与通风口,通风上组件的作用是将UV光源箱的温度及时排出,将热气从通风口出向箱体外排放,通风口内设有风扇,风扇能够加快热量散发的速度,风扇上设有通风网格,通风网格相对较密集,其作用是不仅仅是放置东西掉进UV光源箱内,还能够减少UV光的外泄。
本实用新型进一步设置为:所述传送组件包括传送辊轮、与传送辊轮上的传送带,所述传送带上设有网格。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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