[实用新型]一种激光芯片老化处理设备及其芯片夹具

权利要求书

1.一种芯片夹具，用于激光芯片老化处理设备，其特征在于，包括依次叠放连接的热忱板、金属层板、定位板和顶板；所述定位板上开设有芯片槽，所述芯片槽内可移动地安装有拨板，芯片放置在所述芯片槽的内部时，在所述拨板的作用下所述芯片的外表面抵靠在所述芯片槽的槽壁上。

2.根据权利要求1所述的芯片夹具，其特征在于，所述定位板上还开设有容纳槽，所述容纳槽与所述芯片槽贯通，所述拨板的一端设置在所述容纳槽内，所述拨板的另一端设置在所述芯片槽内。

3.根据权利要求2所述的芯片夹具，其特征在于，所述拨板为弹性件，芯片放置在所述芯片槽的内部时，所述弹性件的弹性形变推动所述芯片抵靠在所述芯片槽的槽壁上。

4.根据权利要求3所述的芯片夹具，其特征在于，所述弹性件的外表面与所述容纳槽的槽壁之间具有预设间隔。

5.根据权利要求4所述的芯片夹具，其特征在于，所述容纳槽与所述芯片槽的连通位置位于所述芯片槽一侧的边缘，延伸至所述芯片槽内的所述弹性件与远离所述弹性件的槽壁形成用于定位所述芯片的限位空间。

6.根据权利要求5所述的芯片夹具，其特征在于，所述芯片槽位于所述定位板的边缘，所述容纳槽向所述定位板的内部延伸，所述容纳槽包括U型部和延伸部，所述延伸部与所述U型部的底部连通，所述U型部的开口方向朝向所述芯片槽，所述U型部的一端与所述芯片槽连通，所述U型部的另一端的槽壁与所述弹性件的一端固接。

7.根据权利要求6所述的芯片夹具，其特征在于，所述弹性件的形状与所述容纳槽的形状一致。

8.根据权利要求7所述的芯片夹具，其特征在于，所述弹性件的厚度小于或等于所述定位板的厚度。

9.根据权利要求1所述的芯片夹具，其特征在于，所述顶板朝向所述定位板的侧面设置有压块，所述压块可拆卸地安装于所述顶板，且在所述顶板与所述定位板连接时，所述压块抵靠在所述芯片的上表面。

10.一种激光芯片老化处理设备，包括芯片夹具，其特征在于，所述芯片夹具为如权利要求1-9任一项所述的芯片夹具。