[实用新型]一种片材装载装置有效
| 申请号: | 201921921464.0 | 申请日: | 2019-11-08 |
| 公开(公告)号: | CN210403688U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
| 发明(设计)人: | 武泉林;柴权;杨摩西 | 申请(专利权)人: | 阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 471023 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 装载 装置 | ||
本实用新型涉及太阳能电池加工设备技术领域,尤其涉及一种片材装载装置。该片材装载装置包括装载台,用于承载花篮;花篮载入机构,设置于所述装载台的一侧,用于将所述花篮送入所述装载台上;运输机构,用于将第一片材逐片输送至所述花篮的容纳槽内;支撑机构,能伸入所述花篮内,并支撑所述花篮内的第二片材,以使所述第二片材与所述运输机构之间形成允许所述第一片材装入的空间。该片材装载装置中,通过设置支撑机构,可以支撑位于上方的第一片材,从而减小第二片材的下垂程度,避免第二片材遮挡第一片材的运输前端,从而避免第一片材和第二片材接触后导致片材破碎、崩片或卡片。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池加工设备技术领域,尤其涉及一种片材装载装置。
背景技术
在硅片的加工生产中,为了满足不同的应用需求,时常需要将硅片进行各种化学处理,随着自动化生产的普及,硅片一般会装载在花篮内,以便通过流水线运送至各个加工工位。
硅片在水平装载入花篮内时,因花篮上的卡齿只对硅片的边缘限位,硅片在重力作用下将下垂,从而影响硅片插入下方的卡槽内,甚至会造成硅片破碎、崩片或卡片等现象。
因此,亟需一种片材装载装置来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种片材装载装置,能够避免硅片下垂影响后续硅片插入,从而避免硅片破碎、崩片或卡片。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种片材装载装置,包括:
装载台,用于承载花篮;
花篮载入机构,设置于所述装载台的一侧,用于将所述花篮送入所述装载台上;
运输机构,用于将第一片材逐片输送至所述花篮的容纳槽内;
支撑机构,能伸入所述花篮内,并支撑所述花篮内的第二片材,以使所述第二片材与所述运输机构之间形成允许所述第一片材装入的空间。
其中,所述支撑机构能间歇支撑所述第二片材的中心区域。
其中,所述支撑机构包括:
支架;
转动体,转动设置于所述支架上,所述转动体为偏心结构,所述转动体能支撑所述第二片材或与所述第二片材脱离。
其中,所述转动体的表面上设置有弹性部,所述弹性部与所述第二片材接触。
其中,所述弹性部为弹性毛刷。
其中,所述转动体为凸轮。
其中,所述转动体的轴线沿所述第一片材载入所述花篮的方向延伸。
其中,所述支撑机构包括:
支架;
喷气部,设置于所述支架上,所述喷气部能够向所述第二片材吹气,以支撑所述第二片材。
其中,所述喷气部包括:
转轮,转动设置于所述支架上,所述转轮的外周面上设置有喷气孔,所述喷气孔用于向所述第二片材吹气。
其中,所述支撑机构还包括:
补气部,所述补气部设置于所述支架上,所述补气部能在所述喷气部停止吹气后向所述第二片材和所述第一片材之间补充气体。
有益效果:该片材装载装置中,通过设置支撑机构,可以支撑位于上方的第一片材,从而减小第二片材的下垂程度,避免第二片材遮挡第一片材的运输前端,从而避免第一片材和第二片材接触后导致片材破碎、崩片或卡片。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





