[实用新型]一种应用于LED晶片扩晶的装置

权利要求书

1.一种应用于LED晶片扩晶的装置，其特征在于：包括机架（1），所述机架（1）上设有扩晶结构以及设置在扩晶结构上方的压膜结构，所述扩晶结构一侧设有第一离子风扇（2），所述扩晶结构包括上压板（3）、下压板（4）以及设置在下压板（4）下方的置物腔（5），所述上压板（3）和下压板（4）一侧铰接，上压板（3）和下压板（4）另一侧通过锁紧装置（6）活动连接，所述上压板（3）上设有用于锁紧装置（6）的压头（601）放置的凹槽（602），所述凹槽（602）一侧的上压板（3）上设有磁铁片（7）；

所述上压板（3）和下压板（4）上开设有尺寸大小一致的容置腔（8），所述下压板（4）底部通过立柱一（9）与置物腔（5）连接，所述置物腔（5）内设有气缸一（10），所述气缸一（10）的活塞杆端部穿过置物腔（5）连接设置在容置腔（8）内的扩晶盘（11），所述扩晶盘（11）内设有加热管线（12），所述扩晶盘（11）可在气缸一（10）作用下上下运动贯穿容置腔（8）；

所述压膜结构包括设在置物腔（5）上端的立柱二（13）、立柱三（14）以及固定在立柱二（13）和立柱三（14）之间的支撑板（15），所述立柱二（13）设在上压板（3）与下压板（4）铰接的那一侧，且磁铁片（7）随着上压板（3）转动时磁铁片（7）对准立柱二（13），所述立柱三（14）设置在锁紧装置（6）的一侧且立柱三（14）上设有标尺（16），所述支撑板（15）上设有气缸二（17），所述气缸二（17）的活塞杆端部穿过支撑板（15）固定连接压板（18），所述压板（18）尺寸略大于扩晶盘（11）尺寸；

所述机架（1）上还设有立板（19），所述立板（19）上设有第二离子风扇（20）。

2.根据权利要求1所述的一种应用于LED晶片扩晶的装置，其特征在于：所述锁紧装置（6）为垂直式夹钳。

3.根据权利要求1所述的一种应用于LED晶片扩晶的装置，其特征在于：所述凹槽（602）内设有橡胶垫 。

4.根据权利要求1所述的一种应用于LED晶片扩晶的装置，其特征在于：所述上压板（3）侧壁上固定设有拉杆（21）。

5.根据权利要求4所述的一种应用于LED晶片扩晶的装置，其特征在于：所述拉杆（21）、扩晶盘（11）、上压板（3）和下压板（4）均为不锈钢制成。

6.根据权利要求1所述的一种应用于LED晶片扩晶的装置，其特征在于：所述上压板（3）和下压板（4）呈方形设置，立柱一（9）设置有四根，分别与下压板（4）下表面的四个对角处固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种应用于LED晶片扩晶的装置，其特征在于：还包括套环（22），所述套环（22）的内径等于扩晶盘（11）外径。