[实用新型]基于全变差正则化法的硅片电阻率测量装置及系统

权利要求书

1.基于全变差正则化法的硅片电阻率测量装置，其特征在于，该测量装置包括支撑框架、电极装置和测试平台，支撑框架包括一根上横梁、竖直支撑杆和底座，上横梁固定连接在竖直支撑杆上部的一侧面上，底座固定连接在竖直支撑杆的固定连接有上横梁一侧的侧面的下端，上横梁与底座均为中空的结构；测试平台安装在底座上，电极装置与测试平台呈纵向对称中心重合安装，电极装置安装在测试平台上方的上横梁上；

电极装置包括十六个电极、电极支架、上电极圆盘、上电极连杆、下电极圆盘、电极伸缩电机、导向杆、电极伸缩电机底座、压力传感器连接杆、压力传感器、下电极连杆、固定块、齿条、带齿轮轴，所述电极支架内部为中空结构且支架下部的直径要大于上部，形成一个阶梯筒状结构，其上部固定在支撑框架的上横梁的底面上，其下部末端与上电极圆盘的上表面连接；带齿轮轴的上部至其顶端的一端轴段的内部设置有沿轴向的内螺纹孔，上电极圆盘的中部设置有通孔，带齿轮轴的上部依次穿过上电极圆盘、电极支架的内部并与电极伸缩电机的输出轴连接的带螺纹轴啮合连接；所述带齿轮轴顶端的内螺纹孔的出口处设置有卡环以防止电极伸缩电机的输出轴连接的带螺纹轴过度旋转旋出带齿轮轴的上部；电极伸缩电机通过电极伸缩电机底座固定在上横梁顶面的内侧面上；带齿轮轴的末端位于电极支架的下方；

上电极圆盘的下表面上周向均匀固定安装有八根上电极连杆，每根上电极连杆末端的下部固定连接有一个电极；下电极圆盘位于上电极圆盘的正下方，带齿轮轴的下部末端与下电极圆盘的中间活动连接且带齿轮轴的下部末端可以绕下电极圆盘的轴向转动，下电极圆盘的上表面上周向均匀安装有八根下电极连杆，下电极连杆与上电极连杆在空间上不重合且所在的圆周在空间上同轴；下电极连杆通过固定块实现在下电极圆盘上周向定位并沿径向运动，每个下电极连杆靠近下电极圆盘中心的一端连接有齿条，每个下电极连杆跟与其相连的齿条平行，两者之间通过一个与两者都垂直的直角衔接段焊接在一起；齿条的另一端与带齿轮轴下部的带齿轮段的外周啮合，下电极连杆另一端的末端下部固定连接有一个电极，同时固定有一个压力传感器连接杆，连接杆末端安装有压力传感器，压力传感器通过蓝牙发送压力信息给上位机；每一个电极均与导线连接；当电极伸缩电机转动时，带齿轮轴周向转动，带动齿条移动，进而带动连接在下电极连杆末端下部的电极沿下电极圆盘的径向运动；

所述导向杆为四根方形条状杆，四根导向杆的下部均匀固定在下电极圆盘的上表面上，与四根导向杆正对的上电极圆盘上开有四个与其相匹配的方形通孔，四根导向杆的上部设置在上电极圆盘的方形通孔内并可沿方形通孔上、下滑动；

所述测试平台包括测试台、测试台轨道、测试台升降杆、带螺纹杆、升降电机、末端卡环；测试台位于测试台升降杆顶端并与其衔接在一起，测试台中部设置有两层不同孔径但同轴的圆形槽口，其中，下层的孔径较上层的小，下层的槽口用于容纳三英寸的硅片，上层的槽口用于容纳四英寸的硅片；

测试台升降杆的下部位于支撑框架的底座的内部，且测试台升降杆下部的内部至下部末端沿轴向设置有带螺纹孔，带螺纹杆的带螺纹段位于测试台升降杆下部的带螺纹孔内，带螺纹杆的下部与升降电机的输出轴轴向连接，升降电机通过升降电机固定座安装在底座内部的底面上；测试台的外周安装有测试台轨道，测试台轨道竖直的固定在底座的上表面上，测试台与测试台轨道接触并可沿其升降但不可周向转动；测试台升降杆下部的带螺纹孔的末端设置有末端卡环。

2.根据权利要求1所述的基于全变差正则化法的硅片电阻率测量装置，其特征在于，所述压力传感器的型号为EPL-B02-10P。

3.根据权利要求1所述的基于全变差正则化法的硅片电阻率测量装置，其特征在于，与八根下电极连杆分别连接的八根齿条包括两种状态，一种是在下电极圆盘上表面的沿带齿轮轴周向均匀布置的四个，第二种是在第一种的上方并在空间上穿插在其之间、呈高低错落的沿带齿轮轴周向均匀布置的四个，即四根下电极连杆与齿条构成一种在下电极圆盘上表面布置的“Z”型结构，另四根下电极连杆与齿条构成另一种垂直下电极圆盘上表面的“Z”型结构，平面布置的四个“Z”型结构和高低错落的垂直布置的四个“Z”型结构可以有效的防止八根电极连杆运动互相干扰。