[实用新型]一种花篮夹持搬运装置有效
申请号: | 201921438323.3 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN210123751U | 公开(公告)日: | 2020-03-03 |
发明(设计)人: | 张学强;戴军;张建伟;罗银兵;刘庆威 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 殷海霞 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 花篮 夹持 搬运 装置 | ||
本申请提供了一种花篮夹持搬运装置,包括Y向移动组件、能够在Y向移动组件上沿Y向滑动的X向移动组件、能够在X向移动组件上沿X向滑动的升降组件、能够在所述的升降组件上上下滑动的夹持组件,所述夹持组件用于夹持花篮。本申请的一种花篮夹持搬运装置,该搬运装置用于花篮的搬运,采用了四轴设计,用于将自动化设备花篮快速搬运至工艺机,可以通用于不同的设备,在不同的需求下均可以很好的适用。
技术领域
本申请涉及一种花篮夹持搬运装置。
背景技术
硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是PN结。在硅片加工过程中,需要将硅片输送至工作位置,加工完成后再下料。在现有技术中,有一种用于放置硅片的花篮,硅片的生产加工过程中,需要将花篮从一个工位搬运至另一个工位。
发明内容
本申请要解决的技术问题是提供一种花篮夹持搬运装置。
为了解决上述技术问题,本申请提供了一种花篮夹持搬运装置,包括Y向移动组件、能够在Y向移动组件上沿Y向滑动的X向移动组件、能够在X向移动组件上沿X向滑动的升降组件、能够在所述的升降组件上上下滑动的夹持组件,所述夹持组件用于夹持花篮。
优选地,所述的Y向移动组件包括相互平行设置的两个Y向滑轨、分别设置在两天Y向滑轨上的Y向滑块、用于驱动Y向滑块沿所述的Y向滑轨滑动的Y向驱动电机,所述的Y向滑块与所述的X向移动组件相固定连接。
优选地,所述的X向移动组件包括一沿X向设置的X向滑轨、沿所述的X向滑轨滑动的X向滑块、用于驱动所述的X向滑块沿所述的X向滑轨滑动的X向驱动电机,所述的X向滑块与所述的升降组件固定连接。所述的X向移动组件还包括一X向安装板,所述的X向滑轨安装在所述的X向安装板上,所述的X向安装板与所述的Y向滑块固定连接。
优选地,所述的Y向滑轨上还设置有一用于保护线缆的Y向拖链,所述的X向滑轨上还设置有一用于保护线缆的X向拖链。
优选地,X向驱动电机和Y向驱动电机分别通过同步带对X向滑块和Y向滑块进行驱动。
优选地,所述的升降组件包括一能够上下移动的升降板,所述的升降板上还安装有一旋转电机,所述的旋转电机的输出端设置有一旋转头,所述的旋转头能够在所述的旋转电机的驱动下转动。
优选地,所述的夹持组件固定在所述的旋转头上。
优选地,所述的升降支撑架上还设置有一用于保护线缆的升降拖链。
本申请的一种花篮夹持搬运装置,该搬运装置用于花篮的搬运,采用了四轴设计,用于将自动化设备花篮快速搬运至工艺机,可以通用于不同的设备,在不同的需求下均可以很好的适用。
附图说明
在此描述的附图仅用于解释目的,而不意图以任何方式来限制本申请公开的范围。另外,图中的各部件的形状和比例尺寸等仅为示意性的,用于帮助对本申请的理解,并不是具体限定本申请各部件的形状和比例尺寸。本领域的技术人员在本申请的教导下,可以根据具体情况选择各种可能的形状和比例尺寸来实施本申请。在附图中:
图1是本申请的一种花篮夹持搬运装置的结构示意图;
图2是本申请的一种升降组件和夹持组件的结构示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的