[实用新型]晶圆片匀蜡机构

权利要求书

1.一种晶圆片匀蜡机构，包括支架、保护罩、甩蜡组件及滴蜡组件，其特征在于：所述保护罩固定在支架顶端，保护罩底端具有开口，所述甩蜡组件对应设置在保护罩下方，甩蜡组件包括升降动力件、升降座、旋转动力件及旋转座，所述升降动力件与升降座连接并可驱动其升降以进入或脱出保护罩，所述旋转座、旋转动力件设置在升降座上，旋转动力件与旋转座连接并可驱动其旋转，所述滴蜡组件对应设置在保护罩一侧，滴蜡组件包括滴蜡器及驱动动力件，所述驱动动力件与滴蜡器连接并可驱动其水平移动以靠近或远离保护罩中心。

2.根据权利要求1所述的晶圆片匀蜡机构，其特征在于：所述晶圆片匀蜡机构还包括定位组件，所述定位组件设置在保护罩底端，包括定位动力件及两定位臂，定位臂上分别固定有弧形定位块，所述定位动力件与两定位臂连接，定位动力件可驱动两定位臂同时向内或向外移动，以使弧形定位块夹紧或松开旋转座上的晶圆片。

3.根据权利要求1所述的晶圆片匀蜡机构，其特征在于：所述保护罩顶端设置有顶盖，所述顶盖上开设有通槽，所述通槽从顶盖边缘延伸至顶盖中心，所述滴蜡器可沿通槽移动。

4.根据权利要求1所述的晶圆片匀蜡机构，其特征在于：所述升降动力件为一组，所述升降座两侧分别设置有导向杆，升降动力件驱动升降座沿导向杆上下升降。