[实用新型]一种宽度可调的硅片清洗花篮

说明书

本实用新型公布了一种宽度可调的硅片清洗花篮，其特征在于：包括两片分别设置在清洗花篮两侧的导向板(1)和连接两个导向板(1)的定位销杆(2)，定位销杆(2)插到导向板两侧定位孔(4)上，通过螺母(5)固定，更换方便。一套导向板(1)可配备多套不同长度的定位销杆(2)，适用于清洗不同尺寸的硅片，节约成本。本实用新型的导向板(1)和定位销杆(2)的材质均采用聚四氟乙烯，既耐磨又容易清洗。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗领域一种宽度可调的硅片清洗花篮。

背景技术

硅片是科学实验中的常用基底，硅片在切割后，需要先充分清洗各表面，一般将硅片放入清洗花篮中清洗。根据实验需要，硅片尺寸有大有小，为了保证清洗效果，就要选用尺寸合适的清洗花篮，需要购买多个不同尺寸的清晰花篮。

发明内容

本实用新型的目的是设计一种结构简单，宽度可调的适用于不同尺寸硅片的清洗花篮，降低实验成本。

为了实现上述的目的，本实用新型的样品台设计为一种宽度可调的硅片清洗花篮，其包括两片分别设置在清洗花篮两侧的导向板和连接两个导向板的定位销杆；所述导向板(1)内壁设置有导向槽(3)；所述的导向板(1)和定位销杆(2)的材质均采用聚四氟乙烯。

本实用新型的两端带有螺纹的定位销杆(2)插到导向板(1)两侧定位孔(4)上，通过螺母(5)固定，更换方便，手柄(6)安装在导向板(1) 上，方便拿换，其材质是聚四氟乙烯。一套导向板可配备多套不同长度的定位销杆，每套包括四根定位销杆，适用于清洗不同尺寸的硅片，节约成本。

本实用新型的有益效果是：(1)结构简单，易于制造；(2) 宽度可调，适合不同尺寸硅片，节约成本。

附图说明

图1是本实用新型的俯视图

图2是本实用新型的侧视图

图3是导向板与定位销杆连接示意图

图中，导向板(1)、定位销杆(2)、导向槽(3)、定位孔(4)、螺母(5)、手柄(6)。

具体实施方式

以下以具体实施例来说明本实用新型的技术方案，但本实用新型的保护范围不限于此：

实施例1

一清洗花篮包括两片分别设置在清洗花篮两侧的导向板和连接两个导向板的定位销杆，导向板内壁设置有导向槽，定位销杆通过螺丝固定在嵌入导向板上。导向板长145mm、宽95mm，配备三套不同长度的定位销杆，长度分别为59mm、73mm和83mm，分别可用于清洗2英寸、2.5英寸和3英寸的硅片。