[实用新型]一种宽度可调的硅片清洗花篮有效
| 申请号： | 201921286032.7 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN211637656U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 郭新勇;董宝杰;王萍 | 申请（专利权）人： | 河南中镜科仪科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B25B11/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 475000 河南省开封市河南自贸试*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 宽度 可调 硅片 清洗 花篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种宽度可调的硅片清洗花篮，其包括两片分别设置在清洗花篮两侧的导向板(1)和连接两个导向板(1)的定位销杆(2)，所述导向板(1)内壁设置有导向槽(3)，导向板(1)一端设置有方便拿取的手柄(6)。
2.根据权利要求1所述的一种宽度可调的硅片清洗花篮，其特征在于，两端带有螺纹的定位销杆(2)插到导向板(1)两侧定位孔(4)上，通过螺母(5)固定。
3.根据权利要求1或2所述的一种宽度可调的硅片清洗花篮，其特征在于，定位板两侧分别设置2个定位孔(4)。
4.根据权利要求1所述的一种宽度可调的硅片清洗花篮，其特征在于，一套导向板(1)可配备多套不同长度的定位销杆(2)，每套包括四根定位销杆(2)，适用于清洗不同尺寸的硅片。
5.根据权利要求1所述的一种宽度可调的硅片清洗花篮，其特征在于，所述的导向板(1)和定位销杆(2)的材质均采用聚四氟乙烯。
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